Công tác bảo vệ môi trường ngày càng được chú trọng, đặc biệt với tình trạng thời tiết sương mù ngày càng gia tăng.Kỹ thuật phòng sạch là một trong những biện pháp bảo vệ môi trường.Sử dụng kỹ thuật phòng sạch như thế nào để làm tốt công việc bảo vệ môi trường?Hãy nói về việc kiểm soát trong kỹ thuật phòng sạch.
Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch
Nhiệt độ và độ ẩm của không gian sạch chủ yếu được xác định dựa trên yêu cầu của quy trình, nhưng khi đáp ứng yêu cầu của quy trình thì cần phải tính đến sự thoải mái của con người.Với việc cải thiện các yêu cầu về độ sạch của không khí, xu hướng yêu cầu khắt khe hơn về nhiệt độ và độ ẩm trong quy trình đang diễn ra.
Theo nguyên tắc chung, do độ chính xác của quá trình xử lý ngày càng tăng, các yêu cầu về phạm vi dao động nhiệt độ ngày càng nhỏ hơn.Ví dụ, trong quá trình in thạch bản và phơi sáng của sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa các tấm wafer thủy tinh và silicon được sử dụng làm vật liệu mặt nạ ngày càng trở nên nhỏ.
Một tấm wafer silicon có đường kính 100 μm gây ra sự giãn nở tuyến tính 0,24 μm khi nhiệt độ tăng 1 độ.Do đó, nhiệt độ không đổi ± 0,1 oC là cần thiết và giá trị độ ẩm nhìn chung thấp vì sau khi đổ mồ hôi, sản phẩm sẽ bị nhiễm bẩn, đặc biệt là trong các xưởng bán dẫn sợ natri.Loại xưởng này không được vượt quá 25oC.
Độ ẩm quá mức gây ra nhiều vấn đề hơn.Khi độ ẩm tương đối vượt quá 55%, sự ngưng tụ sẽ hình thành trên thành ống nước làm mát.Nếu nó xảy ra trong các thiết bị hoặc mạch điện chính xác, nó có thể gây ra nhiều tai nạn khác nhau.Khi độ ẩm tương đối là 50% sẽ dễ bị rỉ sét.Ngoài ra, khi độ ẩm quá cao, bụi bám trên bề mặt wafer silicon sẽ bị hấp phụ hóa học trên bề mặt thông qua các phân tử nước trong không khí, rất khó loại bỏ.
Độ ẩm tương đối càng cao thì càng khó loại bỏ độ bám dính.Tuy nhiên, khi độ ẩm tương đối dưới 30%, các hạt cũng dễ bị hấp phụ trên bề mặt do tác động của lực tĩnh điện và một số lượng lớn thiết bị bán dẫn dễ bị hỏng.Phạm vi nhiệt độ tối ưu để sản xuất tấm silicon là 35-45%.
Áp suất không khíđiều khiểntrong phòng sạch
Đối với hầu hết các không gian sạch, để ngăn ngừa ô nhiễm từ bên ngoài xâm nhập, cần duy trì áp suất bên trong (áp suất tĩnh) cao hơn áp suất bên ngoài (áp suất tĩnh).Việc duy trì chênh lệch áp suất nói chung phải tuân thủ các nguyên tắc sau:
1. Áp suất trong không gian sạch phải cao hơn áp suất trong không gian không sạch.
2. Áp suất trong các không gian có mức độ sạch cao phải cao hơn áp suất ở các không gian liền kề có mức độ sạch thấp.
3. Cửa giữa các phòng sạch nên mở đối với các phòng có mức độ sạch cao.
Việc duy trì chênh lệch áp suất phụ thuộc vào lượng không khí trong lành, lượng không khí trong lành có thể bù đắp cho lượng không khí rò rỉ từ khe hở dưới chênh lệch áp suất này.Vì vậy, ý nghĩa vật lý của chênh lệch áp suất là khả năng chống lại luồng không khí rò rỉ (hoặc xâm nhập) qua các khoảng trống khác nhau trong phòng sạch.
Thời gian đăng: 21-07-2023