Bảo vệ môi trường ngày càng được quan tâm nhiều hơn, đặc biệt là trong bối cảnh hiện tượng ô nhiễm không khí ngày càng gia tăng. Kỹ thuật phòng sạch là một trong những biện pháp bảo vệ môi trường. Làm thế nào để sử dụng kỹ thuật phòng sạch một cách hiệu quả trong việc bảo vệ môi trường? Hãy cùng tìm hiểu về công tác kiểm soát trong kỹ thuật phòng sạch.
Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch
Nhiệt độ và độ ẩm của không gian sạch chủ yếu được xác định dựa trên yêu cầu của quy trình, nhưng khi đáp ứng các yêu cầu quy trình, sự thoải mái của con người cũng cần được tính đến. Với sự cải thiện các yêu cầu về độ sạch của không khí, xu hướng hiện nay là các yêu cầu về nhiệt độ và độ ẩm trong quy trình ngày càng khắt khe hơn.
Theo nguyên tắc chung, do độ chính xác của quá trình gia công ngày càng tăng, yêu cầu về biên độ dao động nhiệt độ ngày càng nhỏ hơn. Ví dụ, trong quá trình khắc quang và chiếu xạ của sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa thủy tinh và tấm silicon được sử dụng làm vật liệu mặt nạ ngày càng nhỏ.
Một tấm silicon có đường kính 100 μm sẽ giãn nở tuyến tính 0,24 μm khi nhiệt độ tăng 1 độ. Do đó, cần duy trì nhiệt độ ổn định trong khoảng ± 0,1 ℃, và độ ẩm nói chung nên thấp vì sau khi đổ mồ hôi, sản phẩm sẽ bị nhiễm bẩn, đặc biệt là trong các xưởng sản xuất bán dẫn rất nhạy cảm với natri. Loại xưởng này không nên vượt quá 25℃.
Độ ẩm quá cao gây ra nhiều vấn đề hơn. Khi độ ẩm tương đối vượt quá 55%, hơi nước sẽ ngưng tụ trên thành ống dẫn nước làm mát. Nếu điều này xảy ra trong các thiết bị hoặc mạch điện chính xác, nó có thể gây ra nhiều sự cố khác nhau. Khi độ ẩm tương đối là 50%, vật liệu dễ bị gỉ sét. Ngoài ra, khi độ ẩm quá cao, bụi bám trên bề mặt tấm silicon sẽ bị hấp phụ hóa học trên bề mặt thông qua các phân tử nước trong không khí, rất khó để loại bỏ.
Độ ẩm tương đối càng cao, việc loại bỏ lớp bám dính càng khó. Tuy nhiên, khi độ ẩm tương đối dưới 30%, các hạt cũng dễ dàng bị hấp phụ trên bề mặt do tác dụng của lực tĩnh điện, và một lượng lớn thiết bị bán dẫn dễ bị hỏng. Phạm vi nhiệt độ tối ưu cho sản xuất tấm silicon là 35-45%.
Áp suất không khíđiều khiểntrong phòng sạch
Đối với hầu hết các không gian sạch, để ngăn chặn sự xâm nhập của ô nhiễm từ bên ngoài, cần duy trì áp suất bên trong (áp suất tĩnh) cao hơn áp suất bên ngoài (áp suất tĩnh). Việc duy trì chênh lệch áp suất nói chung cần tuân thủ các nguyên tắc sau:
1. Áp suất trong không gian sạch phải cao hơn áp suất trong không gian không sạch.
2. Áp suất trong các không gian có mức độ sạch sẽ cao phải cao hơn áp suất trong các không gian liền kề có mức độ sạch sẽ thấp.
3. Các cửa giữa các phòng sạch nên được mở về phía các phòng có mức độ sạch cao.
Việc duy trì chênh lệch áp suất phụ thuộc vào lượng không khí tươi, lượng này phải đủ để bù lại lượng không khí rò rỉ từ khe hở dưới sự chênh lệch áp suất này. Vì vậy, ý nghĩa vật lý của chênh lệch áp suất là sức cản đối với luồng không khí rò rỉ (hoặc xâm nhập) qua các khe hở khác nhau trong phòng sạch.
Thời gian đăng bài: 21/7/2023