Bảo vệ môi trường được chú ý ngày càng nhiều, đặc biệt là với sự gia tăng của thời tiết khói mù. Kỹ thuật phòng sạch là một trong những biện pháp bảo vệ môi trường. Làm thế nào để sử dụng kỹ thuật phòng sạch để làm tốt công việc bảo vệ môi trường? Hãy nói về sự kiểm soát trong kỹ thuật phòng sạch.
Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch
Nhiệt độ và độ ẩm của không gian sạch chủ yếu được xác định dựa trên các yêu cầu của quy trình, nhưng khi các yêu cầu về quá trình đáp ứng, sự thoải mái của con người nên được tính đến. Với việc cải thiện các yêu cầu về độ sạch không khí, có một xu hướng yêu cầu chặt chẽ hơn đối với nhiệt độ và độ ẩm trong quá trình.
Theo nguyên tắc chung, do độ chính xác ngày càng tăng của việc xử lý, các yêu cầu về phạm vi dao động nhiệt độ đang trở nên nhỏ hơn và nhỏ hơn. Ví dụ, trong quá trình in thạch bản và phơi nhiễm của sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa các tấm silic và silicon được sử dụng làm vật liệu mặt nạ ngày càng nhỏ.
Một wafer silicon có đường kính 100 μ m gây ra sự giãn nở tuyến tính 0,24 μ m khi nhiệt độ tăng 1 độ. Do đó, nhiệt độ không đổi là ± 0,1 là cần thiết và giá trị độ ẩm thường thấp vì sau khi đổ mồ hôi, sản phẩm sẽ bị ô nhiễm, đặc biệt là trong các xưởng bán dẫn sợ natri. Loại hội thảo này không được vượt quá 25.
Độ ẩm quá mức gây ra nhiều vấn đề hơn. Khi độ ẩm tương đối vượt quá 55%, ngưng tụ sẽ hình thành trên thành ống nước làm mát. Nếu nó xảy ra trong các thiết bị hoặc mạch chính xác, nó có thể gây ra các tai nạn khác nhau. Khi độ ẩm tương đối là 50%, nó dễ bị rỉ sét. Ngoài ra, khi độ ẩm quá cao, bụi bám vào bề mặt của wafer silicon sẽ được hấp phụ hóa học trên bề mặt thông qua các phân tử nước trong không khí, rất khó để loại bỏ.
Độ ẩm tương đối càng cao, càng khó loại bỏ độ bám dính. Tuy nhiên, khi độ ẩm tương đối dưới 30%, các hạt cũng dễ dàng được hấp phụ trên bề mặt do tác động của lực tĩnh điện và một số lượng lớn các thiết bị bán dẫn dễ bị hỏng. Phạm vi nhiệt độ tối ưu cho sản xuất wafer silicon là 35-45%.
Áp suất không khíđiều khiểnTrong phòng sạch sẽ
Đối với hầu hết các không gian sạch sẽ, để ngăn chặn ô nhiễm bên ngoài xâm chiếm, cần phải duy trì áp suất bên trong (áp suất tĩnh) cao hơn áp suất bên ngoài (áp suất tĩnh). Việc duy trì chênh lệch áp suất thường tuân thủ các nguyên tắc sau:
1. Áp lực trong không gian sạch nên cao hơn so với không gian không sạch.
2. Áp lực trong không gian có mức độ sạch cao nên cao hơn so với các không gian liền kề với mức độ sạch thấp.
3. Các cửa giữa các phòng sạch nên được mở về phía các phòng có mức độ sạch sẽ cao.
Việc duy trì chênh lệch áp suất phụ thuộc vào lượng không khí trong lành, điều này có thể bù cho rò rỉ không khí từ khoảng cách dưới sự khác biệt áp suất này. Vì vậy, ý nghĩa vật lý của chênh lệch áp suất là khả năng chống rò rỉ (hoặc xâm nhập) lưu lượng không khí thông qua các khoảng trống khác nhau trong phòng sạch.
Thời gian đăng: Tháng 7-21-2023