Nếu có các khiếm khuyết trong bộ lọc HEPA và cài đặt của nó, chẳng hạn như các lỗ nhỏ trong bộ lọc hoặc các vết nứt nhỏ gây ra bởi việc cài đặt lỏng lẻo, hiệu ứng tinh chế dự định sẽ không đạt được. Do đó, sau khi bộ lọc HEPA được cài đặt hoặc thay thế, phải thực hiện kiểm tra rò rỉ trên bộ lọc và kết nối cài đặt.
1. Mục đích và phạm vi phát hiện rò rỉ:
Mục đích phát hiện: Bằng cách kiểm tra sự rò rỉ của bộ lọc HEPA, hãy tìm hiểu các khiếm khuyết của bộ lọc HEPA và cài đặt của nó, để thực hiện các biện pháp khắc phục.
Phạm vi phát hiện: Khu vực sạch, băng ghế công việc dòng chảy và bộ lọc HEPA trên thiết bị, v.v.
2. Phương pháp phát hiện rò rỉ:
Phương pháp được sử dụng phổ biến nhất là phương pháp DOP để phát hiện rò rỉ (nghĩa là sử dụng dung môi DOP làm nguồn bụi và hoạt động với quang kế aerosol để phát hiện rò rỉ). Phương pháp quét bộ đếm hạt bụi cũng có thể được sử dụng để phát hiện rò rỉ (nghĩa là sử dụng bụi khí quyển làm nguồn bụi và hoạt động với bộ đếm hạt để phát hiện rò rỉ. Rò rỉ).
Tuy nhiên, vì việc đọc bộ đếm hạt là một cách đọc tích lũy, nên nó không có lợi cho việc quét và tốc độ kiểm tra chậm; Ngoài ra, ở phía gió ngược của bộ lọc HEPA được thử nghiệm, nồng độ bụi trong khí quyển thường thấp và cần có khói bổ sung để dễ dàng phát hiện rò rỉ. Phương pháp bộ đếm hạt được sử dụng để phát hiện rò rỉ. Phương pháp DOP chỉ có thể bù cho những thiếu sót này, vì vậy bây giờ phương pháp DOP được sử dụng rộng rãi để phát hiện rò rỉ.
3. Nguyên tắc làm việc của phát hiện rò rỉ phương pháp DOP:
DOP aerosol được phát ra như một nguồn bụi ở phía gió ngược của bộ lọc hiệu quả cao đang được kiểm tra (DOP là dioctyl phthalate, trọng lượng phân tử là 390,57 và các hạt là hình cầu sau khi phun).
Một quang kế aerosol được sử dụng để lấy mẫu ở phía gió ngược. Các mẫu không khí được thu thập đi qua buồng khuếch tán của quang kế. Ánh sáng rải rác được tạo ra bởi khí chứa bụi đi qua quang kế được chuyển thành điện bằng hiệu ứng quang điện và khuếch đại tuyến tính, và nhanh chóng được hiển thị bằng microam kế, có thể đo được nồng độ tương đối của aerosol. Những gì kiểm tra DOP thực sự đo lường là tốc độ thâm nhập của bộ lọc HEPA.
Máy phát DOP là một thiết bị tạo ra khói. Sau khi dung môi DOP được đổ vào thùng chứa, khói aerosol được tạo ra trong một áp suất hoặc điều kiện gia nhiệt nhất định và được gửi đến mặt gió của bộ lọc hiệu quả cao (chất lỏng DOP được làm nóng để tạo thành hơi nước DOP và hơi nước là Được làm nóng trong một ngưng tụ cụ thể thành các giọt nhỏ trong một số điều kiện nhất định, loại bỏ các giọt quá lớn và quá nhỏ, chỉ để lại khoảng 0,3um hạt và DOP sương mù đi vào ống dẫn khí);
Photometer aerosol (dụng cụ đo và hiển thị nồng độ aerosol sẽ chỉ ra thời gian hiệu lực của hiệu chuẩn và chỉ có thể được sử dụng nếu chúng vượt qua hiệu chuẩn và trong thời gian hiệu lực);
4. Quy trình làm việc kiểm tra phát hiện rò rỉ:
(1). Chuẩn bị phát hiện rò rỉ
Chuẩn bị các thiết bị cần thiết để phát hiện rò rỉ và kế hoạch sàn của ống cung cấp không khí của hệ thống tinh chế và điều hòa không khí trong khu vực sẽ được kiểm tra, và thông báo cho công ty thiết bị tinh chế và điều hòa không khí vào ngày bị rò rỉ Phát hiện để thực hiện các hoạt động như áp dụng keo và thay thế các bộ lọc HEPA.
(2). Hoạt động phát hiện rò rỉ
① Kiểm tra xem mức độ lỏng của dung môi DOP trong máy phát aerosol có cao hơn mức thấp hay không, nếu nó không đủ, nên thêm vào.
Kết nối chai nitơ với máy phát aerosol, bật công tắc nhiệt độ của máy phát aerosol và đợi cho đến khi ánh sáng đỏ thay đổi thành màu xanh lá cây, có nghĩa là đạt được nhiệt độ (khoảng 390 ~ 420).
Kết nối một đầu của ống thử đến cổng kiểm tra nồng độ ngược dòng của quang kế aerosol và đặt đầu kia vào phía đầu vào không khí (phía ngược dòng) của bộ lọc HEPA đang được kiểm tra. Bật công tắc quang kế và điều chỉnh giá trị thử nghiệm thành "100".
④turn trên công tắc nitơ, điều khiển áp suất ở 0,05 ~ 0,15MPa, từ từ mở van dầu của máy phát aerosol, kiểm soát giá trị thử của quang kế ở 10 ~ 20 và vào nồng độ đo ngược dòng sau khi giá trị thử nghiệm. Thực hiện các hoạt động quét và kiểm tra tiếp theo.
Kết nối một đầu của ống thử đến cổng kiểm tra nồng độ xuôi dòng của quang kế aerosol và sử dụng đầu kia, đầu lấy mẫu, để quét phía đầu ra không khí của bộ lọc và khung. Khoảng cách giữa đầu lấy mẫu và bộ lọc là khoảng 3 đến 5 cm, dọc theo khung bên trong của bộ lọc được quét qua lại và tốc độ kiểm tra dưới 5cm/s.
Phạm vi thử nghiệm bao gồm vật liệu lọc, kết nối giữa vật liệu lọc và khung của nó, kết nối giữa miếng đệm của khung bộ lọc và khung hỗ trợ của nhóm lọc, kết nối giữa khung hỗ trợ và tường hoặc trần để kiểm tra Bộ lọc trung bình các lỗ kim nhỏ và các thiệt hại khác trong bộ lọc, niêm phong khung, niêm phong miếng đệm và rò rỉ trong khung bộ lọc.
Phát hiện rò rỉ thường xuyên các bộ lọc HEPA ở các khu vực sạch trên lớp 10000 thường là mỗi năm một lần (nửa năm ở các khu vực vô trùng); Khi có sự bất thường đáng kể về số lượng hạt bụi, vi khuẩn lắng và vận tốc không khí trong việc theo dõi hàng ngày các khu vực sạch, cũng nên phát hiện rò rỉ.
Thời gian đăng: Tháng 9-07-2023