Ngoài việc kiểm soát chặt chẽ các hạt, phòng sạch điện tử, đại diện là xưởng sản xuất chip, xưởng không bụi mạch tích hợp và xưởng sản xuất đĩa cũng có yêu cầu khắt khe hơn về kiểm soát nhiệt độ, độ ẩm, chiếu sáng và sốc vi mô.Loại bỏ nghiêm ngặt tác động của tĩnh điện lên sản phẩm sản xuất, để môi trường đáp ứng yêu cầu quy trình sản xuất sản phẩm điện tử trong môi trường sạch sẽ.
Nhiệt độ và độ ẩm của phòng sạch điện tử phải được xác định theo yêu cầu của quy trình sản xuất.Khi không có yêu cầu cụ thể cho quy trình sản xuất, nhiệt độ có thể là 20-26°C và độ ẩm tương đối là 30%-70%.Nhiệt độ của phòng sạch nhân sự và phòng khách có thể là 16-28oC.Theo tiêu chuẩn quốc gia Trung Quốc GB-50073, phù hợp với tiêu chuẩn ISO quốc tế, mức độ sạch của loại phòng sạch này là 1-9.Trong số đó, loại 1-5, kiểu luồng không khí là luồng một chiều hoặc luồng hỗn hợp;kiểu luồng khí cấp 6 là luồng không khí một chiều và tốc độ thay đổi không khí là 50-60 lần/h;loại luồng không khí loại 7 là luồng không khí một chiều, tốc độ thay đổi không khí là 15-25 lần/h;Loại luồng không khí cấp 8-9 là luồng không khí một chiều, tốc độ thay đổi không khí là 10-15 lần/h.
Theo thông số kỹ thuật hiện hành, độ ồn trong phòng sạch điện tử loại 10.000 không được lớn hơn 65dB(A).
1. Tỷ lệ đầy đủ của phòng sạch dòng chảy dọc trong phòng sạch điện tử không được nhỏ hơn 60% và phòng sạch dòng chảy một chiều ngang không được nhỏ hơn 40%, nếu không sẽ là dòng một chiều một phần.
2. Chênh lệch áp suất tĩnh giữa phòng sạch điện tử và ngoài trời không được nhỏ hơn 10Pa, và chênh lệch áp suất tĩnh giữa khu vực sạch sẽ và khu vực không sạch sẽ có độ sạch không khí khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.
3. Lượng không khí trong lành trong phòng sạch điện tử cấp 10000 phải lấy giá trị của hai hạng mục sau.
4. Bù tổng lượng khí thải trong nhà và lượng không khí trong lành cần thiết để duy trì giá trị áp suất dương trong nhà.
5. Đảm bảo lượng không khí trong lành cung cấp cho phòng sạch/người/giờ không nhỏ hơn 40 mét vuông.
Thời gian đăng: Apr-08-2024