Ngoài việc kiểm soát nghiêm ngặt các hạt bụi, phòng sạch điện tử, điển hình là các xưởng sản xuất chip, xưởng sản xuất mạch tích hợp không bụi và xưởng sản xuất đĩa, còn có các yêu cầu khắt khe hơn về kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm, ánh sáng và rung động siêu nhỏ. Nghiêm cấm tuyệt đối ảnh hưởng của tĩnh điện lên sản phẩm, đảm bảo môi trường đáp ứng được yêu cầu sản xuất sản phẩm điện tử trong môi trường sạch.
Nhiệt độ và độ ẩm của phòng sạch điện tử cần được xác định theo yêu cầu của quy trình sản xuất. Khi không có yêu cầu cụ thể nào cho quy trình sản xuất, nhiệt độ có thể là 20-26°C và độ ẩm tương đối là 30%-70%. Nhiệt độ của phòng sạch cho nhân viên và phòng sinh hoạt có thể là 16-28℃. Theo tiêu chuẩn quốc gia Trung Quốc GB-50073, phù hợp với tiêu chuẩn ISO quốc tế, mức độ sạch của loại phòng sạch này là 1-9. Trong đó, cấp 1-5, kiểu luồng khí là luồng một chiều hoặc luồng hỗn hợp; cấp 6 kiểu luồng khí là luồng không một chiều và tốc độ thay đổi không khí là 50-60 lần/giờ; cấp 7 kiểu luồng khí là luồng không một chiều và tốc độ thay đổi không khí là 15-25 lần/giờ; cấp 8-9 kiểu luồng khí là luồng không một chiều, tốc độ thay đổi không khí là 10-15 lần/giờ.
Theo các thông số kỹ thuật hiện hành, mức độ tiếng ồn bên trong phòng sạch điện tử cấp 10.000 không được vượt quá 65dB(A).
1. Tỷ lệ lưu lượng khí toàn phần của phòng sạch theo chiều dọc trong phòng sạch điện tử không được nhỏ hơn 60%, và tỷ lệ lưu lượng khí một chiều theo chiều ngang của phòng sạch không được nhỏ hơn 40%, nếu không sẽ trở thành phòng sạch có lưu lượng khí một chiều cục bộ.
2. Chênh lệch áp suất tĩnh giữa phòng sạch điện tử và bên ngoài không được nhỏ hơn 10Pa, và chênh lệch áp suất tĩnh giữa khu vực sạch và khu vực không sạch với độ sạch không khí khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.
3. Lượng không khí tươi trong phòng sạch điện tử cấp 10000 cần có giá trị tương ứng với hai yếu tố sau.
4. Bù trừ tổng lượng khí thải trong nhà và lượng khí tươi cần thiết để duy trì áp suất dương trong nhà.
5. Đảm bảo lượng không khí trong lành cung cấp cho phòng sạch mỗi người mỗi giờ không được ít hơn 40 mét vuông.
Thời gian đăng bài: 08/04/2024