Ngoài việc kiểm soát nghiêm ngặt các hạt, phòng sạch điện tử được đại diện bởi các hội thảo sản xuất chip, các hội thảo không có bụi và hội thảo sản xuất đĩa cũng có các yêu cầu chặt chẽ hơn đối với kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm, chiếu sáng và gây sốc vi mô. Loại bỏ nghiêm ngặt tác động của tĩnh điện đối với các sản phẩm sản xuất, do đó môi trường có thể đáp ứng các yêu cầu quy trình sản xuất của các sản phẩm điện tử trong môi trường sạch.
Nhiệt độ và độ ẩm của phòng sạch điện tử nên được xác định theo yêu cầu quy trình sản xuất. Khi không có yêu cầu cụ thể cho quá trình sản xuất, nhiệt độ có thể là 20-26 ° C và độ ẩm tương đối là 30%-70%. Nhiệt độ của phòng sạch nhân sự và phòng khách có thể là 16-28. Theo GB-50073 tiêu chuẩn quốc gia Trung Quốc, phù hợp với các tiêu chuẩn ISO quốc tế, mức độ sạch sẽ của loại phòng sạch này là 1-9. Trong số đó, lớp 1-5, mô hình dòng không khí là dòng chảy đơn hướng hoặc dòng chảy hỗn hợp; Mô hình dòng không khí lớp 6 là dòng chảy không liên tục và thay đổi không khí là 50-60 lần/h; Loại lưu lượng không khí lớp 7 là dòng chảy không liên tục và thay đổi không khí là 15-25 lần/h; Loại lưu lượng không khí lớp 8-9 là dòng chảy không liên tục, thay đổi không khí là 10-15 lần/h.
Theo thông số kỹ thuật hiện tại, mức độ nhiễu trong lớp 10.000 phòng sạch điện tử không nên lớn hơn 65dB (a).
1
2. Sự khác biệt áp suất tĩnh giữa phòng sạch điện tử và ngoài trời không được nhỏ hơn 10Pa và chênh lệch áp suất tĩnh giữa các khu vực sạch và các khu vực không sạch với độ sạch không khí khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.
3
4. Bồi thường tổng của thể tích khí thải trong nhà và thể tích không khí trong lành cần thiết để duy trì giá trị áp suất dương trong nhà.
5. Đảm bảo rằng lượng không khí trong lành được cung cấp cho phòng sạch mỗi người mỗi giờ không dưới 40 mét vuông.
Thời gian đăng: Tháng 4-08-2024