Ngoài việc kiểm soát chặt chẽ các hạt bụi, phòng sạch điện tử, tiêu biểu là các xưởng sản xuất chip, xưởng sản xuất mạch tích hợp không bụi và xưởng sản xuất đĩa, còn có yêu cầu nghiêm ngặt hơn về kiểm soát nhiệt độ, độ ẩm, ánh sáng và vi chấn. Loại bỏ triệt để ảnh hưởng của tĩnh điện lên sản phẩm sản xuất, để môi trường có thể đáp ứng các yêu cầu quy trình sản xuất sản phẩm điện tử trong môi trường sạch.
Nhiệt độ và độ ẩm của phòng sạch điện tử cần được xác định theo yêu cầu của quy trình sản xuất. Khi không có yêu cầu cụ thể cho quy trình sản xuất, nhiệt độ có thể là 20-26°C và độ ẩm tương đối là 30%-70%. Nhiệt độ của phòng sạch của nhân viên và phòng khách có thể là 16-28℃. Theo tiêu chuẩn quốc gia Trung Quốc GB-50073, phù hợp với tiêu chuẩn ISO quốc tế, mức độ sạch sẽ của loại phòng sạch này là 1-9. Trong đó, loại 1-5, mô hình luồng không khí là luồng một chiều hoặc luồng hỗn hợp; loại luồng không khí loại 6 là luồng không một chiều và thay đổi không khí là 50-60 lần/giờ; loại luồng không khí loại 7 là luồng không một chiều và thay đổi không khí là 15-25 lần/giờ; loại luồng không khí loại 8-9 là luồng không một chiều, thay đổi không khí là 10-15 lần/giờ.
Theo thông số kỹ thuật hiện hành, mức độ tiếng ồn trong phòng sạch điện tử cấp 10.000 không được lớn hơn 65dB(A).
1. Tỷ lệ đầy đủ của phòng sạch dòng chảy thẳng đứng trong phòng sạch điện tử không được nhỏ hơn 60% và phòng sạch dòng chảy đơn hướng ngang không được nhỏ hơn 40%, nếu không sẽ là dòng chảy đơn hướng một phần.
2. Chênh lệch áp suất tĩnh giữa phòng sạch điện tử và ngoài trời không được nhỏ hơn 10Pa, chênh lệch áp suất tĩnh giữa khu vực sạch và khu vực không sạch có độ sạch không khí khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa.
3. Lượng không khí trong lành trong phòng sạch điện tử cấp 10000 phải có giá trị bằng hai mục sau.
4. Bù tổng lượng khí thải trong nhà và lượng khí tươi cần thiết để duy trì giá trị áp suất dương trong nhà.
5. Đảm bảo lượng không khí sạch cung cấp cho phòng sạch cho một người trong một giờ không ít hơn 40 mét vuông.
Thời gian đăng: 08-04-2024