① Phòng sạch là một thiết bị tiêu thụ năng lượng lớn. Lượng năng lượng tiêu thụ bao gồm điện, nhiệt và làm mát được sử dụng bởi các thiết bị sản xuất trong phòng sạch, điện năng tiêu thụ, nhiệt lượng tiêu thụ và tải làm mát của hệ thống điều hòa không khí lọc sạch, điện năng tiêu thụ của thiết bị làm lạnh và xử lý khí thải. Điện năng tiêu thụ và nhiệt lượng tiêu thụ của thiết bị, điện năng tiêu thụ, nhiệt lượng tiêu thụ và tải làm mát của việc chuẩn bị và vận chuyển các chất có độ tinh khiết cao khác nhau, điện năng tiêu thụ, nhiệt lượng tiêu thụ, điện năng làm mát và chiếu sáng của các thiết bị công cộng sử dụng điện khác nhau. Lượng năng lượng tiêu thụ của phòng sạch trong cùng diện tích gấp 10 lần so với một tòa nhà văn phòng, hoặc thậm chí còn lớn hơn. Một số phòng sạch trong ngành công nghiệp điện tử yêu cầu không gian, diện tích và thể tích lớn. Với sự phát triển của khoa học và công nghệ, để đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất quy mô lớn và độ tin cậy cao trong sản xuất sản phẩm điện tử, người ta thường sử dụng các thiết bị sản xuất chính xác quy mô lớn tích hợp nhiều quy trình để sản xuất liên tục. Vì mục đích này, cần phải bố trí trong một khu vực xây dựng lớn, khu vực sản xuất sạch và khu vực công nghệ trên và dưới. "Tầng lửng" là một không gian rộng lớn và là sự kết hợp của một tòa nhà phòng sạch quy mô lớn.
② Trong ngành công nghiệp điện tử, các đường ống vận chuyển tương ứng và các thiết bị xử lý khí thải cần thiết thường được lắp đặt trong phòng sạch. Các thiết bị xử lý khí thải này không chỉ tiêu thụ năng lượng mà còn làm tăng lượng không khí cung cấp cho phòng sạch. Phòng sạch sản xuất sản phẩm điện tử tiêu thụ rất nhiều năng lượng. Các thiết bị lọc không khí cần thiết để đáp ứng môi trường sản xuất sạch, bao gồm hệ thống điều hòa không khí và hệ thống làm mát và sưởi ấm, cũng tiêu thụ rất nhiều năng lượng. Nếu yêu cầu về mức độ sạch của không khí nghiêm ngặt, do lượng không khí sạch cung cấp và lượng không khí tươi lớn, nên mức tiêu thụ năng lượng sẽ lớn, và chúng hoạt động liên tục ngày đêm gần như mỗi ngày trong suốt cả năm.
③ Đảm bảo tính liên tục trong sử dụng các thiết bị tiêu thụ năng lượng. Để đảm bảo sự ổn định của mức độ sạch không khí trong các phòng sạch khác nhau, sự ổn định của các thông số chức năng trong nhà và nhu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm, nhiều phòng sạch hoạt động liên tục, thường là 24 giờ mỗi ngày và đêm. Do hoạt động liên tục của phòng sạch, việc cung cấp điện, làm mát, sưởi ấm, v.v. phải được lên kế hoạch theo yêu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm hoặc kế hoạch sản xuất trong phòng sạch, và các nguồn năng lượng khác nhau phải được cung cấp kịp thời. Trong mức tiêu thụ năng lượng của các loại phòng sạch khác nhau, ngoài việc cung cấp năng lượng cho thiết bị sản xuất sản phẩm và nước làm mát, các chất có độ tinh khiết cao, hóa chất và khí đặc biệt liên quan chặt chẽ đến chủng loại sản phẩm, việc cung cấp năng lượng trong phòng sạch thay đổi theo chủng loại sản phẩm và quy trình sản xuất. Một tỷ lệ lớn trong tổng mức tiêu thụ năng lượng là điện năng và năng lượng làm mát (nhiệt) của máy làm lạnh và hệ thống điều hòa không khí lọc.
④ Theo yêu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm và yêu cầu kiểm soát môi trường của phòng sạch, dù là mùa đông, mùa chuyển tiếp hay mùa hè, đều có nhu cầu về cái gọi là "năng lượng nhiệt cấp thấp" với nhiệt độ dưới 60℃. Ví dụ, hệ thống điều hòa không khí lọc cần cung cấp nước nóng ở các nhiệt độ khác nhau để làm nóng không khí tươi ngoài trời vào mùa đông và mùa chuyển tiếp, nhưng lượng nhiệt cung cấp lại khác nhau tùy theo mùa. Một lượng lớn nước tinh khiết chủ yếu được sử dụng trong phòng sạch để sản xuất các sản phẩm điện tử. Lượng nước tinh khiết tiêu thụ mỗi giờ trong quy trình sản xuất chip mạch tích hợp và sản xuất tấm TFT-LCD lên đến hàng trăm tấn. Để có được chất lượng nước tinh khiết cần thiết, công nghệ thẩm thấu ngược RO thường được sử dụng. Thiết bị RO yêu cầu nhiệt độ nước phải được duy trì ở khoảng 25°C và thường cần cung cấp nước nóng ở một nhiệt độ nhất định. Nghiên cứu tại một số công ty cho thấy, trong những năm gần đây, năng lượng nhiệt cấp thấp trong phòng sạch, chẳng hạn như nhiệt ngưng tụ của máy làm lạnh, đã dần được sử dụng để cung cấp nước nóng ở nhiệt độ thấp khoảng 40°C, thay thế cho việc sử dụng hơi nước áp suất thấp hoặc nước nóng ở nhiệt độ cao trước đây để sưởi ấm/làm nóng sơ bộ, và đạt được những lợi ích rõ rệt về tiết kiệm năng lượng và kinh tế. Do đó, phòng sạch vừa có "nguồn tài nguyên" là các nguồn nhiệt cấp thấp, vừa có nhu cầu sử dụng năng lượng nhiệt cấp thấp. Đây là một trong những đặc điểm quan trọng của phòng sạch, đó là tích hợp và tận dụng năng lượng nhiệt cấp thấp để giảm tiêu thụ năng lượng.
Thời gian đăng bài: 14/11/2023