

① Phòng sạch là một thiết bị tiêu thụ năng lượng lớn. Năng lượng tiêu thụ bao gồm điện năng, nhiệt và làm mát được sử dụng bởi các thiết bị sản xuất trong phòng sạch, điện năng tiêu thụ, nhiệt năng tiêu thụ và tải làm mát của hệ thống điều hòa không khí thanh lọc, điện năng tiêu thụ của thiết bị làm lạnh và xử lý khí thải. Điện năng tiêu thụ và nhiệt năng tiêu thụ của thiết bị, điện năng tiêu thụ, nhiệt năng tiêu thụ và tải làm mát của quá trình chuẩn bị và vận chuyển các chất có độ tinh khiết cao khác nhau, điện năng tiêu thụ, nhiệt năng tiêu thụ, điện năng tiêu thụ làm mát và chiếu sáng của các cơ sở công cộng khác nhau. Mức tiêu thụ năng lượng của phòng sạch trong cùng một diện tích gấp 10 lần so với một tòa nhà văn phòng, thậm chí còn cao hơn. Một số phòng sạch trong ngành công nghiệp điện tử đòi hỏi không gian rộng, diện tích lớn và thể tích lớn. Với sự phát triển của khoa học công nghệ, để đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất quy mô lớn và độ tin cậy cao của sản xuất sản phẩm điện tử, thiết bị sản xuất chính xác quy mô lớn tích hợp nhiều quy trình sản xuất liên tục thường được sử dụng. Vì vậy, cần bố trí trong một khu vực tòa nhà lớn, khu vực sản xuất sạch và công nghệ trên và dưới. "Gác lửng" là một không gian lớn và một tòa nhà phòng sạch quy mô lớn kết hợp.
② Trong ngành công nghiệp điện tử, phòng sạch thường được trang bị đường ống vận chuyển tương ứng và các thiết bị xử lý khí thải cần thiết. Các thiết bị xử lý khí thải này không chỉ tiêu thụ năng lượng mà còn làm tăng lượng khí cấp vào phòng sạch. Phòng sạch cho các sản phẩm điện tử tiêu thụ rất nhiều năng lượng. Các thiết bị lọc không khí cần thiết để đáp ứng môi trường sản xuất sạch, bao gồm hệ thống điều hòa không khí lọc và hệ thống làm mát/sưởi ấm, tiêu thụ rất nhiều năng lượng. Nếu yêu cầu về độ sạch của không khí nghiêm ngặt, do lượng khí cấp vào và lượng khí tươi lớn, mức tiêu thụ năng lượng cũng rất lớn, và hoạt động liên tục cả ngày lẫn đêm hầu như quanh năm.
③ Tính liên tục của việc sử dụng các cơ sở tiêu thụ năng lượng khác nhau. Để đảm bảo tính nhất quán của độ sạch không khí trong các phòng sạch khác nhau, tính ổn định của các thông số chức năng trong nhà khác nhau và nhu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm, nhiều phòng sạch hoạt động trực tuyến, thường là 24 giờ một ngày một đêm. Do phòng sạch hoạt động liên tục, việc cung cấp điện, làm mát, sưởi ấm, v.v. phải được lên lịch theo yêu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm hoặc sắp xếp kế hoạch sản xuất trong phòng sạch và các nguồn năng lượng khác nhau có thể được cung cấp kịp thời. Trong mức tiêu thụ năng lượng của các loại phòng sạch khác nhau, ngoài việc cung cấp năng lượng cho thiết bị sản xuất sản phẩm và nước làm mát, các chất có độ tinh khiết cao, hóa chất và khí đặc biệt có liên quan chặt chẽ đến loại sản phẩm, thì việc cung cấp năng lượng trong phòng sạch cũng thay đổi theo loại sản phẩm và quy trình sản xuất. Một tỷ lệ lớn trong tổng mức tiêu thụ năng lượng là mức tiêu thụ điện và năng lượng làm mát (nhiệt) của máy làm lạnh và hệ thống điều hòa không khí thanh lọc.
④ Theo yêu cầu quy trình sản xuất sản phẩm và yêu cầu kiểm soát môi trường của phòng sạch, dù là mùa đông, mùa chuyển mùa hay mùa hè, đều có nhu cầu về cái gọi là "nhiệt năng mức thấp" với nhiệt độ dưới 60°C. Ví dụ, hệ thống điều hòa không khí thanh lọc yêu cầu cung cấp nước nóng ở các nhiệt độ khác nhau để làm nóng không khí trong lành ngoài trời vào mùa đông và mùa chuyển mùa, nhưng nguồn cung cấp nhiệt lại khác nhau tùy theo mùa. Một lượng lớn nước tinh khiết chủ yếu được sử dụng trong phòng sạch để sản xuất các sản phẩm điện tử. Lượng nước tinh khiết tiêu thụ hàng giờ trong quá trình sản xuất chip mạch tích hợp và sản xuất tấm nền TFT-LCD lên tới hàng trăm tấn. Để đạt được chất lượng nước tinh khiết theo yêu cầu, công nghệ thẩm thấu ngược RO thường được sử dụng. Thiết bị RO yêu cầu nhiệt độ nước được duy trì ở khoảng 25°C và thường cần cung cấp nước nóng ở một nhiệt độ nhất định. Nghiên cứu tại một số công ty cho thấy trong những năm gần đây, năng lượng nhiệt mức thấp trong phòng sạch, chẳng hạn như nhiệt ngưng tụ của máy làm lạnh, đã dần được sử dụng để cung cấp nước nóng nhiệt độ thấp khoảng 40°C, thay thế việc sử dụng hơi nước áp suất thấp hoặc nước nóng nhiệt độ cao để gia nhiệt/sưởi ấm ban đầu, và đạt được lợi ích kinh tế và tiết kiệm năng lượng rõ rệt. Do đó, phòng sạch vừa có "nguồn" nhiệt mức thấp, vừa có nhu cầu về năng lượng nhiệt mức thấp. Đây là một trong những đặc điểm quan trọng của phòng sạch, tích hợp và sử dụng năng lượng nhiệt mức thấp để giảm tiêu thụ năng lượng.
Thời gian đăng: 14-11-2023