1. Đặc điểm thiết kế
Do yêu cầu về chức năng hóa, thu nhỏ, tích hợp và độ chính xác của các sản phẩm chip, các yêu cầu thiết kế phòng sạch sản xuất chip khác biệt đáng kể so với các nhà máy thông thường.
(1) Yêu cầu về độ sạch: Môi trường sản xuất chip có yêu cầu kiểm soát cao đối với số lượng hạt trong không khí;
(2) Yêu cầu về độ kín khí: Giảm các khe hở kết cấu và tăng cường độ kín khí của các kết cấu khe hở để giảm thiểu tác động của rò rỉ không khí hoặc ô nhiễm;
(3) Yêu cầu hệ thống nhà máy: Hệ thống điện và cơ điện đặc biệt đáp ứng nhu cầu của máy móc quy trình, chẳng hạn như khí đặc biệt, hóa chất, nước thải tinh khiết, v.v.;
(4) Yêu cầu chống rung vi mô: Quá trình gia công chip đòi hỏi độ chính xác cao và tác động của rung động lên thiết bị cần được giảm thiểu;
(5) Yêu cầu về không gian: Sơ đồ mặt bằng nhà máy đơn giản, với các phân chia chức năng rõ ràng, đường ống ẩn và phân bổ không gian hợp lý, cho phép linh hoạt khi cập nhật quy trình sản xuất và thiết bị.
2. Trọng tâm xây dựng
(1). Thời gian xây dựng ngắn hơn. Theo Định luật Moore, mật độ tích hợp chip sẽ tăng gấp đôi trung bình sau mỗi 18 đến 24 tháng. Với việc cập nhật và cải tiến các sản phẩm điện tử, nhu cầu về nhà máy sản xuất cũng sẽ được cập nhật. Do sự cập nhật nhanh chóng của các sản phẩm điện tử, tuổi thọ thực tế của các nhà máy làm sạch điện tử chỉ từ 10 đến 15 năm.
(2). Yêu cầu tổ chức nguồn lực cao hơn. Phòng sạch điện tử thường có khối lượng xây dựng lớn, thời gian thi công ngắn, các quy trình đan xen chặt chẽ, khó luân chuyển nguồn lực và tiêu thụ vật liệu chính tập trung hơn. Việc tổ chức nguồn lực chặt chẽ như vậy dẫn đến áp lực cao đối với việc quản lý kế hoạch tổng thể và yêu cầu tổ chức nguồn lực cao. Ở giai đoạn móng và giai đoạn chính, điều này chủ yếu thể hiện ở nhân công, thép thanh, bê tông, vật liệu khung, máy nâng, v.v.; Ở giai đoạn lắp đặt cơ điện, trang trí và thiết bị, điều này chủ yếu thể hiện ở các yêu cầu tại công trường, các loại ống và vật liệu phụ trợ cho máy móc xây dựng, thiết bị đặc biệt, v.v.
(3). Yêu cầu chất lượng xây dựng cao chủ yếu được thể hiện ở ba khía cạnh: độ phẳng, độ kín khí và thi công ít bụi. Bên cạnh việc bảo vệ thiết bị chính xác khỏi hư hại do môi trường, rung động bên ngoài và cộng hưởng môi trường, sự ổn định của chính thiết bị cũng quan trọng không kém. Do đó, yêu cầu về độ phẳng của sàn là 2mm/2m. Đảm bảo độ kín khí đóng vai trò quan trọng trong việc duy trì chênh lệch áp suất giữa các khu vực sạch khác nhau và do đó kiểm soát các nguồn gây ô nhiễm. Kiểm soát chặt chẽ việc làm sạch phòng sạch trước khi lắp đặt thiết bị lọc và điều hòa không khí, và kiểm soát các khâu dễ phát sinh bụi trong quá trình chuẩn bị thi công và thi công sau khi lắp đặt.
(4) Yêu cầu cao về quản lý và phối hợp thầu phụ. Quá trình xây dựng phòng sạch điện tử rất phức tạp, đòi hỏi chuyên môn cao, liên quan đến nhiều nhà thầu phụ chuyên ngành và có phạm vi hoạt động chéo rộng giữa các lĩnh vực khác nhau. Do đó, cần phải phối hợp các quy trình và bề mặt làm việc của từng lĩnh vực, giảm thiểu hoạt động chéo, nắm bắt nhu cầu thực tế về việc bàn giao giao diện giữa các lĩnh vực và làm tốt công tác phối hợp và quản lý của nhà thầu chính.
Thời gian đăng bài: 22/09/2025