Phòng sạch là phòng có nồng độ hạt lơ lửng trong không khí được kiểm soát. Việc xây dựng và sử dụng phòng sạch phải giảm thiểu sự xâm nhập, phát sinh và lưu giữ các hạt trong không khí. Các thông số liên quan khác như nhiệt độ, độ ẩm và áp suất trong phòng phải được kiểm soát khi cần thiết. Phòng sạch được phân loại theo số lượng hạt có kích thước hạt nhất định trên một đơn vị thể tích không khí. Nó được phân loại theo nồng độ hạt lơ lửng trong không khí. Nhìn chung, giá trị càng nhỏ thì mức độ thanh lọc càng cao. Ví dụ: Cấp 10 > Cấp 100 > Cấp 10000 > Cấp 100000.
Tiêu chuẩn phòng sạch cấp 100 chủ yếu bao gồm phòng phẫu thuật, sản xuất vô trùng của ngành dược phẩm.
Số lượng tối đa các hạt có kích thước hạt sạch lớn hơn hoặc bằng 0,1 micron không được lớn hơn 100.
Chênh lệch áp suất, nhiệt độ và độ ẩm 22℃±2; độ ẩm 55%±5; về cơ bản, cần phủ kín hoàn toàn bằng FFU và làm sàn nâng. Sử dụng hệ thống MAU+FFU+DC. Đồng thời duy trì áp suất dương, đảm bảo chênh lệch áp suất giữa các phòng liền kề khoảng 10pa.
Chiếu sáng Vì hầu hết các hạng mục công việc trong phòng sạch không bụi đều có yêu cầu khắt khe và đều là nhà kín, nên yêu cầu về chiếu sáng luôn rất cao. Chiếu sáng cục bộ: Đây là hệ thống chiếu sáng được thiết lập để tăng cường độ chiếu sáng cho một vị trí được chỉ định. Tuy nhiên, chiếu sáng cục bộ thường không được sử dụng riêng lẻ trong chiếu sáng nội thất. Chiếu sáng hỗn hợp: Đây là hệ thống chiếu sáng trên bề mặt làm việc được tổng hợp bởi một hệ thống chiếu sáng và chiếu sáng cục bộ, trong đó độ chiếu sáng của chiếu sáng chung nên chiếm 10%-15% tổng độ chiếu sáng.
Tiêu chuẩn phòng sạch cấp 1000 là kiểm soát số lượng hạt bụi có kích thước hạt nhỏ hơn 0,5 micron trên mét khối xuống dưới 3.500, đạt tiêu chuẩn không bụi quốc tế cấp A. Tiêu chuẩn không bụi hiện đang được sử dụng trong sản xuất và gia công chip có yêu cầu về bụi cao hơn cấp A. Tiêu chuẩn cao như vậy chủ yếu được sử dụng trong sản xuất một số chip cấp cao hơn. Số lượng hạt bụi được kiểm soát chặt chẽ trong phạm vi 1.000 hạt trên mét khối, thường được gọi là cấp 1000 trong ngành công nghiệp phòng sạch.
Đối với hầu hết các xưởng sạch không bụi, để ngăn ngừa ô nhiễm bên ngoài xâm nhập, cần phải giữ áp suất bên trong (áp suất tĩnh) cao hơn áp suất bên ngoài (áp suất tĩnh). Việc duy trì chênh lệch áp suất nói chung phải tuân theo các nguyên tắc sau: áp suất của không gian sạch phải cao hơn áp suất của không gian không sạch; áp suất của không gian có mức độ sạch cao phải cao hơn áp suất của không gian liền kề có mức độ sạch thấp; cửa giữa các phòng sạch được kết nối phải được mở sang các phòng có mức độ sạch cao. Việc duy trì chênh lệch áp suất phụ thuộc vào lượng không khí trong lành, có thể bù cho lượng không khí rò rỉ từ các khe hở dưới chênh lệch áp suất này. Do đó, ý nghĩa vật lý của chênh lệch áp suất là sức cản của thể tích không khí rò rỉ (hoặc xâm nhập) khi nó đi qua các khe hở khác nhau trong phòng sạch.
Phòng sạch cấp 10000 nghĩa là số lượng hạt bụi lớn hơn hoặc bằng 0,5um lớn hơn 35.000 hạt/m3 (35 hạt/) đến nhỏ hơn hoặc bằng 35.000 hạt/m3 (350 hạt/) và số lượng hạt bụi lớn hơn hoặc bằng 5um lớn hơn 300 hạt/m3 (0,3 hạt) đến nhỏ hơn hoặc bằng 3.000 hạt/m3 (3 hạt). Chênh lệch áp suất và kiểm soát nhiệt độ, độ ẩm.
Điều khiển hệ thống dàn lạnh khô nhiệt độ và độ ẩm. Hộp điều hòa không khí điều chỉnh lượng nước nạp vào dàn lạnh bằng cách điều khiển van ba chiều thông qua tín hiệu cảm biến.
Phòng sạch cấp độ 100.000 nghĩa là số lượng hạt bụi trên một mét khối trong xưởng được kiểm soát trong phạm vi 100.000. Xưởng sản xuất sử dụng phòng sạch chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp điện tử và dược phẩm. Việc sở hữu một xưởng sản xuất cấp độ 100.000 là khá tốt cho ngành công nghiệp thực phẩm. Phòng sạch cấp độ 100.000 yêu cầu 15-19 lần thay đổi không khí mỗi giờ, sau khi thông gió hoàn toàn, thời gian lọc không khí không được quá 40 phút.
Chênh lệch áp suất giữa các phòng sạch có cùng mức độ sạch phải được duy trì ổn định. Chênh lệch áp suất giữa các phòng sạch liền kề có mức độ sạch khác nhau phải là 5Pa, và chênh lệch áp suất giữa phòng sạch và phòng không sạch phải >10Pa.
Nhiệt độ và độ ẩm. Khi không có yêu cầu đặc biệt về nhiệt độ và độ ẩm trong phòng sạch cấp 100.000, nên mặc quần áo làm việc sạch sẽ, thoải mái. Nhiệt độ thường được kiểm soát ở mức 20-22℃ vào mùa đông và 24-26℃ vào mùa hè, với biên độ dao động ±2°C. Độ ẩm của phòng sạch vào mùa đông được kiểm soát ở mức 30-50% và độ ẩm của phòng sạch vào mùa hè được kiểm soát ở mức 50-70%. Giá trị chiếu sáng của các phòng sản xuất chính trong phòng sạch (khu vực) thường phải >300Lx: giá trị chiếu sáng của các xưởng phụ trợ, phòng thanh lọc nhân sự và phòng thanh lọc vật liệu, buồng khí, hành lang, v.v. phải từ 200-300Lx.
Thời gian đăng: 14-04-2025