Theo cách bố trí luồng không khí và các đường ống khác nhau, cũng như các yêu cầu về bố trí hệ thống điều hòa không khí lọc khí, cửa hút và hồi khí, đèn chiếu sáng, thiết bị phát hiện báo động, v.v., phòng sạch thường được thiết lập ở tầng lửng kỹ thuật phía trên, tầng lửng kỹ thuật phía dưới, tầng lửng kỹ thuật hoặc giếng kỹ thuật.
Tầng lửng kỹ thuật
Đường ống dẫn điện trong phòng sạch nên được bố trí ở các tầng lửng kỹ thuật hoặc đường hầm. Nên sử dụng cáp ít khói, không chứa halogen. Ống dẫn luồn dây phải được làm bằng vật liệu không cháy. Đường ống dẫn điện trong khu vực sản xuất sạch nên được lắp đặt âm tường, và cần có biện pháp bịt kín đáng tin cậy tại các mối nối giữa các lỗ mở đường ống dẫn điện và các thiết bị điện khác nhau được lắp đặt trên tường. Phương pháp phân phối điện phía trên trong phòng sạch: đường dây truyền tải và phân phối điện áp thấp thường áp dụng hai phương pháp, đó là: đi dây cáp đến hộp phân phối, và từ hộp phân phối đến thiết bị điện; hoặc sử dụng ống dẫn kín có mười hộp cắm (ổ cắm bị khóa khi không sử dụng), từ hộp cắm đến hộp điều khiển điện của thiết bị sản xuất hoặc dây chuyền sản xuất. Phương pháp phân phối điện thứ hai chỉ được sử dụng trong các nhà máy điện tử, viễn thông, thiết bị điện và nhà máy chế tạo máy hoàn chỉnh có yêu cầu về độ sạch thấp. Nó có thể đáp ứng được việc thay đổi sản phẩm sản xuất, cập nhật và thay đổi dây chuyền sản xuất, và việc dịch chuyển, bổ sung và loại bỏ thiết bị sản xuất. Nó cực kỳ thuận tiện. Không cần phải sửa đổi thiết bị phân phối điện và dây dẫn trong xưởng. Bạn chỉ cần di chuyển hộp cắm thanh dẫn điện hoặc sử dụng hộp cắm dự phòng để dẫn dây cáp nguồn ra ngoài.
Hệ thống dây điện tầng lửng
Hệ thống đi dây điện kỹ thuật trên tầng lửng trong phòng sạch: Hệ thống này được sử dụng khi có tầng lửng kỹ thuật phía trên phòng sạch hoặc khi có trần treo phía trên phòng sạch. Trần treo có thể được chia thành các dạng kết cấu như kết cấu sandwich bê tông cốt thép và tấm ốp tường kim loại. Tấm ốp tường kim loại và trần treo thường được sử dụng trong phòng sạch.
Xử lý niêm phong
Phương pháp đi dây của tầng lửng kỹ thuật trong phòng sạch không khác nhiều so với phương pháp phân phối điện đã đề cập ở trên, nhưng cần nhấn mạnh rằng khi dây dẫn và đường ống cáp đi qua trần nhà, chúng phải được bịt kín để ngăn bụi và vi khuẩn trên trần nhà xâm nhập vào phòng sạch và duy trì áp suất dương (âm) của phòng sạch. Đối với tầng lửng phía trên của phòng sạch có luồng khí không một chiều, chỉ có tầng lửng kỹ thuật phía trên, thường được bố trí các ống dẫn thông gió điều hòa, ống dẫn khí đốt, ống dẫn nước, đường ống điện và thông tin có dòng điện mạnh và yếu, cầu dẫn, thanh cái, v.v., và các ống dẫn thường đan chéo nhau. Điều này rất phức tạp. Cần có kế hoạch tổng thể trong giai đoạn thiết kế, xây dựng "quy tắc giao thông" và cần có bản vẽ mặt cắt ngang tổng thể của các đường ống để sắp xếp các đường ống khác nhau một cách có trật tự nhằm tạo điều kiện thuận lợi cho việc thi công và bảo trì. Trong điều kiện bình thường, máng cáp dòng điện mạnh nên tránh các ống dẫn điều hòa, và các đường ống khác nên tránh các thanh cái kín. Khi tầng lửng trên trần phòng sạch có chiều cao lớn (ví dụ như từ 2m trở lên), phải lắp đặt các ổ cắm điện và ổ cắm bảo trì trên trần, đồng thời phải lắp đặt các thiết bị báo cháy theo quy định.
Tầng lửng kỹ thuật trên và dưới
Hệ thống dây điện ở tầng lửng kỹ thuật phía dưới của phòng sạch: Trong những năm gần đây, phòng sạch dùng cho sản xuất chip mạch tích hợp quy mô lớn và sản xuất tấm nền LCD thường sử dụng phòng sạch nhiều tầng với bố cục nhiều tầng, và các tầng lửng kỹ thuật phía trên được bố trí ở phần trên và phần dưới của tầng sản xuất sạch, tầng lửng kỹ thuật phía dưới có chiều cao trên 4,0m.
buồng dẫn khí hồi
Không gian lửng kỹ thuật phía dưới thường được sử dụng làm khoang hồi lưu khí của hệ thống điều hòa không khí tinh khiết. Theo nhu cầu thiết kế kỹ thuật, các đường ống điện, máng cáp và thanh dẫn kín có thể được bố trí trong khoang hồi lưu khí. Phương pháp phân phối điện áp thấp không khác nhiều so với phương pháp trước đó, ngoại trừ khoang hồi lưu khí là một phần không thể thiếu của hệ thống phòng sạch. Các đường ống, cáp và thanh dẫn được bố trí trong khoang tĩnh phải được làm sạch trước khi lắp đặt và bố trí để thuận tiện cho việc vệ sinh hàng ngày. Phương pháp đi dây điện ở không gian lửng kỹ thuật thấp truyền tải điện năng đến các thiết bị điện trong phòng sạch. Khoảng cách truyền tải ngắn và có rất ít hoặc không có đường ống lộ ra ngoài trong phòng sạch, điều này có lợi cho việc nâng cao độ sạch sẽ.
Phòng sạch dạng đường hầm
Tầng lửng phía dưới của phòng sạch và hệ thống dây điện ở các tầng trên và dưới của phòng sạch nhiều tầng nằm trong xưởng sạch sử dụng phòng sạch dạng đường hầm hoặc xưởng sạch có lối đi kỹ thuật và giếng kỹ thuật. Vì phòng sạch dạng đường hầm được bố trí khu vực sản xuất sạch và khu vực thiết bị phụ trợ, và hầu hết các thiết bị phụ trợ như bơm chân không, hộp điều khiển (tủ), đường ống điện công cộng, đường ống điện, máng cáp, thanh dẫn kín và hộp phân phối (tủ) đều nằm trong khu vực thiết bị phụ trợ. Các thiết bị phụ trợ có thể dễ dàng kết nối đường dây điện và đường dây điều khiển với các thiết bị điện trong khu vực sản xuất sạch.
Trục kỹ thuật
Khi phòng sạch được trang bị các hành lang kỹ thuật hoặc giếng kỹ thuật, hệ thống dây điện có thể được bố trí trong các hành lang kỹ thuật hoặc giếng kỹ thuật tương ứng theo sơ đồ quy trình sản xuất, nhưng cần chú ý chừa đủ không gian cho việc lắp đặt và bảo trì. Cần xem xét đầy đủ bố cục, không gian lắp đặt và bảo trì của các đường ống khác và phụ kiện của chúng nằm trong cùng một đường hầm hoặc giếng kỹ thuật. Cần có kế hoạch tổng thể và sự phối hợp toàn diện.
Thời gian đăng bài: 01/11/2023