1. Trong phòng sạch, cần bố trí các loại phòng chứa và phân phối hóa chất khác nhau dựa trên yêu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm và các tính chất vật lý, hóa học của hóa chất. Cần sử dụng đường ống để cung cấp hóa chất cần thiết cho thiết bị sản xuất. Các phòng chứa và phân phối hóa chất trong phòng sạch thường được đặt trong khu vực sản xuất phụ trợ, thường ở tầng trệt của tòa nhà một tầng hoặc nhiều tầng, gần tường ngoài. Hóa chất cần được lưu trữ riêng biệt theo tính chất vật lý và hóa học của chúng. Các hóa chất không tương thích cần được đặt trong các phòng chứa và phân phối hóa chất riêng biệt, được ngăn cách bằng vách ngăn chắc chắn. Hóa chất nguy hiểm cần được lưu trữ trong các phòng chứa hoặc phân phối riêng biệt với khả năng chống cháy ít nhất 2 giờ giữa các phòng liền kề. Các phòng này nên được đặt trong một phòng ở tầng một của tòa nhà sản xuất, gần tường ngoài.
2. Các phòng sạch trong ngành công nghiệp điện tử thường có các phòng lưu trữ và phân phối axit và kiềm, cũng như các dung môi dễ cháy. Các phòng lưu trữ và phân phối axit thường chứa các hệ thống lưu trữ và phân phối axit sulfuric, axit phosphoric, axit hydrofluoric và axit hydrochloric. Các phòng lưu trữ và phân phối kiềm thường chứa các hệ thống lưu trữ và phân phối natri hydroxit, bánh hydroxit, amoni hydroxit và tetramethylammonium hydroxit. Các phòng lưu trữ và phân phối dung môi dễ cháy thường chứa các hệ thống lưu trữ và phân phối các dung môi hữu cơ như cồn isopropyl (IPA). Các phòng sạch trong các nhà máy sản xuất tấm bán dẫn mạch tích hợp cũng có các phòng lưu trữ và phân phối dung dịch đánh bóng. Các phòng lưu trữ và phân phối hóa chất thường được đặt trong các khu vực sản xuất phụ trợ hoặc hỗ trợ gần hoặc liền kề với các khu vực sản xuất sạch, thường ở tầng một và có lối đi trực tiếp ra ngoài trời.
3. Các phòng lưu trữ và phân phối hóa chất được trang bị các thùng hoặc bể chứa có dung tích khác nhau tùy thuộc vào loại, số lượng và đặc điểm sử dụng của các hóa chất cần thiết cho sản xuất sản phẩm. Theo tiêu chuẩn và quy định, hóa chất phải được lưu trữ riêng biệt và phân loại. Dung tích của các thùng hoặc bể chứa phải đủ dùng trong bảy ngày. Cần phải có thêm các thùng hoặc bể chứa dự trữ hàng ngày, với dung tích đủ để đáp ứng nhu cầu sử dụng hóa chất trong 24 giờ cho sản xuất sản phẩm. Các phòng lưu trữ và phân phối dung môi dễ cháy và hóa chất oxy hóa phải được tách biệt và ngăn cách với các phòng liền kề bằng tường chịu lửa chắc chắn với khả năng chống cháy 3,0 giờ. Nếu nằm ở tầng một của tòa nhà nhiều tầng, chúng phải được ngăn cách với các khu vực khác bằng sàn không cháy với khả năng chống cháy ít nhất 1,5 giờ. Phòng điều khiển trung tâm cho hệ thống an toàn và giám sát hóa chất trong phòng sạch phải được đặt trong một phòng riêng biệt.
4. Chiều cao của phòng chứa và phân phối hóa chất trong phòng sạch cần được xác định dựa trên yêu cầu bố trí thiết bị và đường ống, và nói chung không được thấp hơn 4,5 mét. Nếu nằm trong khu vực sản xuất phụ trợ của phòng sạch, chiều cao của phòng chứa và phân phối hóa chất phải phù hợp với chiều cao của tòa nhà.
Thời gian đăng bài: 01/08/2025
