1. Trong phòng sạch, cần thiết lập các loại phòng lưu trữ và phân phối hóa chất khác nhau dựa trên yêu cầu của quy trình sản xuất sản phẩm và tính chất lý hóa của hóa chất. Cần sử dụng đường ống để cung cấp hóa chất cần thiết cho thiết bị sản xuất. Các phòng lưu trữ và phân phối hóa chất trong phòng sạch thường được đặt tại khu vực sản xuất phụ trợ, thường là ở tầng trệt của tòa nhà một tầng hoặc nhiều tầng, gần tường ngoài. Hóa chất phải được lưu trữ riêng biệt theo tính chất lý hóa của chúng. Các hóa chất không tương thích phải được đặt trong các phòng lưu trữ và phân phối hóa chất riêng biệt, được ngăn cách bằng vách ngăn đặc. Hóa chất nguy hiểm phải được lưu trữ trong các phòng lưu trữ hoặc phân phối riêng biệt với khả năng chịu lửa ít nhất 2,0 giờ giữa các phòng liền kề. Các phòng này phải được đặt trong một phòng ở tầng một của tòa nhà sản xuất, gần tường ngoài.
2. Phòng sạch trong ngành công nghiệp điện tử thường có phòng lưu trữ và phân phối axit và kiềm, cũng như dung môi dễ cháy. Phòng lưu trữ và phân phối axit thường chứa hệ thống lưu trữ và phân phối axit sunfuric, axit photphoric, axit flohydric và axit clohydric. Phòng lưu trữ và phân phối kiềm thường chứa hệ thống lưu trữ và phân phối natri hydroxit, bánh hydroxit, amoni hydroxit và tetramethylamoni hydroxit. Phòng lưu trữ và phân phối dung môi dễ cháy thường chứa hệ thống lưu trữ và phân phối dung môi hữu cơ như cồn isopropyl (IPA). Phòng sạch trong các nhà máy chế tạo wafer mạch tích hợp cũng có phòng lưu trữ và phân phối bùn đánh bóng. Phòng lưu trữ và phân phối hóa chất thường được đặt tại các khu vực sản xuất phụ trợ hoặc khu vực hỗ trợ gần hoặc liền kề với khu vực sản xuất sạch, thường ở tầng một với lối ra trực tiếp vào bên ngoài.
3. Phòng lưu trữ và phân phối hóa chất được trang bị các thùng hoặc bể chứa có dung tích khác nhau tùy theo loại, số lượng và đặc điểm sử dụng của hóa chất cần thiết cho sản xuất sản phẩm. Theo tiêu chuẩn và quy định, hóa chất phải được lưu trữ riêng biệt và được phân loại. Dung tích của các thùng hoặc bể chứa được sử dụng phải đủ để tiêu thụ hóa chất trong bảy ngày. Các thùng hoặc bể chứa hàng ngày cũng phải được trang bị, với dung tích đủ để đáp ứng nhu cầu tiêu thụ hóa chất trong 24 giờ cho sản xuất sản phẩm. Phòng lưu trữ và phân phối dung môi dễ cháy và hóa chất oxy hóa phải được tách biệt và ngăn cách với các phòng liền kề bằng tường chịu lửa chắc chắn có giới hạn chịu lửa là 3,0 giờ. Nếu nằm ở tầng một của tòa nhà nhiều tầng, chúng phải được ngăn cách với các khu vực khác bằng sàn không cháy có giới hạn chịu lửa ít nhất là 1,5 giờ. Phòng điều khiển tập trung cho hệ thống giám sát và an toàn hóa chất trong phòng sạch phải được đặt trong một phòng riêng.
4. Chiều cao của phòng lưu trữ và phân phối hóa chất trong phòng sạch phải được xác định dựa trên yêu cầu bố trí thiết bị và đường ống, nhìn chung không được nhỏ hơn 4,5 mét. Nếu nằm trong khu vực sản xuất phụ trợ của phòng sạch, chiều cao của phòng lưu trữ và phân phối hóa chất phải phù hợp với chiều cao của tòa nhà.
Thời gian đăng: 01-08-2025