Việc lắp đặt thiết bị xử lý trong phòng sạch phải dựa trên thiết kế và chức năng của phòng sạch. Chi tiết sau đây sẽ được giới thiệu.
1. Phương pháp lắp đặt thiết bị: Phương pháp lý tưởng là đóng phòng sạch trong thời gian lắp đặt thiết bị và có cửa có thể đáp ứng góc nhìn của thiết bị hoặc dành lối đi để cho thiết bị mới đi qua và vào phòng sạch để tránh phòng sạch gần thời gian lắp đặt bị ô nhiễm, cần thực hiện các biện pháp bảo vệ để đảm bảo phòng sạch vẫn đáp ứng các yêu cầu về độ sạch và công việc tiếp theo cần thực hiện.
2. Nếu công việc trong phòng sạch không thể dừng lại trong mỗi giai đoạn lắp đặt hoặc nếu có các cấu trúc cần tháo dỡ, phòng sạch đang hoạt động phải được cách ly hiệu quả khỏi khu vực làm việc: có thể sử dụng tường hoặc vách ngăn cách tạm thời. Để không cản trở công việc lắp đặt, cần có đủ không gian xung quanh thiết bị. Nếu điều kiện cho phép, có thể tiếp cận khu vực cách ly thông qua các kênh dịch vụ hoặc các khu vực không quan trọng khác: nếu không thể, cần thực hiện các biện pháp để giảm thiểu tác động ô nhiễm do công việc lắp đặt gây ra. Khu vực cách ly phải duy trì áp suất bằng hoặc áp suất âm. Nguồn cung cấp không khí sạch phải được cắt ở khu vực cao tầng để tránh áp suất dương lên phòng sạch xung quanh. Nếu chỉ tiếp cận khu vực cách ly thông qua phòng sạch liền kề, cần sử dụng miếng dán để loại bỏ bụi bẩn trên giày.
3. Sau khi vào khu vực trên cao, có thể sử dụng ủng hoặc giày bao ngoài dùng một lần và quần áo bảo hộ lao động liền khối để tránh làm ô nhiễm phòng sạch. Những vật dụng dùng một lần này phải được tháo bỏ trước khi rời khỏi khu vực cách ly. Cần xây dựng các phương pháp giám sát khu vực xung quanh khu vực cách ly trong quá trình lắp đặt thiết bị và xác định tần suất giám sát để đảm bảo phát hiện bất kỳ sự ô nhiễm nào có thể rò rỉ vào phòng sạch liền kề. Sau khi các biện pháp cách ly được thiết lập, cần lắp đặt các cơ sở dịch vụ công cộng cần thiết như đường ống điện, nước, khí đốt, chân không, khí nén và nước thải, đồng thời chú ý kiểm soát và cô lập khói và mảnh vụn phát sinh từ hoạt động càng nhiều càng tốt để tránh vô tình lan sang phòng sạch xung quanh. Cần tạo điều kiện vệ sinh hiệu quả trước khi tháo bỏ rào chắn cách ly. Sau khi các cơ sở dịch vụ công cộng đáp ứng các yêu cầu sử dụng, toàn bộ khu vực cách ly phải được vệ sinh và khử nhiễm theo quy trình vệ sinh đã quy định. Tất cả các bề mặt, bao gồm tường, thiết bị (cố định và di động) và sàn nhà, phải được hút bụi, lau chùi và lau sàn, đặc biệt chú ý vệ sinh các khu vực phía sau tấm chắn bảo vệ thiết bị và bên dưới thiết bị.
4. Có thể tiến hành kiểm tra sơ bộ hiệu suất thiết bị dựa trên điều kiện thực tế của phòng sạch và thiết bị đã lắp đặt, nhưng việc kiểm tra nghiệm thu tiếp theo nên được thực hiện khi các điều kiện môi trường sạch đã được đáp ứng đầy đủ. Tùy thuộc vào điều kiện tại địa điểm lắp đặt, bạn có thể bắt đầu tháo dỡ tường cách ly một cách cẩn thận; nếu nguồn cấp khí sạch đã bị tắt, hãy khởi động lại; thời gian cho giai đoạn này cần được lựa chọn cẩn thận để giảm thiểu ảnh hưởng đến hoạt động bình thường của phòng sạch. Lúc này, có thể cần phải đo nồng độ các hạt lơ lửng trong không khí xem có đáp ứng các yêu cầu quy định hay không.
5. Việc vệ sinh và chuẩn bị bên trong thiết bị và các buồng quy trình chính phải được thực hiện trong điều kiện phòng sạch thông thường. Tất cả các buồng bên trong và tất cả các bề mặt tiếp xúc với sản phẩm hoặc liên quan đến vận chuyển sản phẩm phải được lau chùi đạt mức độ sạch cần thiết. Trình tự vệ sinh thiết bị phải được thực hiện từ trên xuống dưới. Nếu các hạt bị phân tán, các hạt lớn hơn sẽ rơi xuống đáy thiết bị hoặc xuống đất do trọng lực. Vệ sinh bề mặt ngoài của thiết bị từ trên xuống dưới. Khi cần thiết, nên thực hiện phát hiện hạt bề mặt ở những khu vực có yêu cầu nghiêm ngặt về sản phẩm hoặc quy trình sản xuất.
6. Xét đến đặc điểm của phòng sạch, đặc biệt là diện tích lớn, đầu tư lớn, sản lượng lớn và yêu cầu vệ sinh rất nghiêm ngặt của phòng sạch công nghệ cao, việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong loại phòng sạch này tương tự như phòng sạch thông thường. Không có yêu cầu cụ thể nào. Vì vậy, tiêu chuẩn quốc gia "Quy chuẩn Xây dựng và Kiểm định Chất lượng Phòng sạch" được ban hành đã đưa ra một số quy định về việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch, chủ yếu bao gồm các nội dung sau.
A. Để ngăn ngừa ô nhiễm hoặc thậm chí gây hư hại cho phòng sạch (khu vực) đã được nghiệm thu "trống" trong quá trình lắp đặt thiết bị sản xuất, quá trình lắp đặt thiết bị không được rung động hoặc nghiêng quá mức, không được chia cắt và làm ô nhiễm bề mặt thiết bị.
B. Để việc lắp đặt thiết bị sản xuất trong phòng sạch (khu vực) được ngăn nắp, gọn gàng, không cần hoặc ít cần ngồi, và tuân thủ hệ thống quản lý sản xuất sạch trong phòng sạch, cần đảm bảo quy trình lắp đặt thiết bị sản xuất được bảo vệ theo các loại "thành phẩm" và "bán thành phẩm" được chấp nhận ở trạng thái "trống", vật liệu, máy móc, v.v. được sử dụng trong quá trình lắp đặt không được phát thải hoặc có thể phát thải (kể cả trong quá trình vận hành bình thường của phòng sạch trong thời gian dài) các chất ô nhiễm có hại cho sản phẩm được sản xuất. Nên sử dụng vật liệu phòng sạch không bụi, không gỉ, không dầu mỡ và không phát thải bụi trong quá trình sử dụng.
C. Bề mặt trang trí của phòng sạch (khu vực) cần được bảo vệ bằng tấm ốp, màng phim phòng sạch và các vật liệu khác; tấm lót thiết bị cần được chế tạo theo yêu cầu của thiết kế hoặc tài liệu kỹ thuật thiết bị. Nếu không có yêu cầu, nên sử dụng tấm thép không gỉ hoặc tấm nhựa. Thanh thép cacbon dùng cho móng độc lập và cốt thép sàn cần được xử lý chống ăn mòn, bề mặt phải phẳng và nhẵn; nên sử dụng vật liệu bịt kín đàn hồi để trét kín.
D. Vật liệu phải được ghi rõ thành phần, chủng loại, ngày sản xuất, hạn sử dụng, hướng dẫn phương pháp thi công và chứng chỉ sản phẩm. Máy móc và dụng cụ sử dụng trong phòng sạch (khu vực) không được di chuyển đến phòng sạch (khu vực) để sử dụng. Máy móc và dụng cụ sử dụng trong phòng sạch (khu vực) phải đảm bảo các bộ phận tiếp xúc của máy không phát sinh bụi hoặc có biện pháp ngăn bụi gây ô nhiễm môi trường. Máy móc và dụng cụ thường dùng phải được vệ sinh trong buồng khí trước khi di chuyển đến khu vực sạch và phải đáp ứng các yêu cầu không có dầu, không có bụi bẩn, không có bụi và không có gỉ sét, và phải được di chuyển sau khi đã kiểm tra và dán biển báo "Sạch" hoặc "Chỉ khu vực sạch".
E. Thiết bị sản xuất trong phòng sạch (khu vực) cần được lắp đặt trên "sàn chuyên dụng" như sàn nâng. Nền móng thiết bị thường được đặt trên sàn lửng kỹ thuật thấp hơn hoặc trên tấm xi măng xốp; các hạng mục cần tháo dỡ để lắp đặt nền móng. Kết cấu sàn sau khi cắt bằng cưa điện cầm tay cần được gia cố, và khả năng chịu lực của sàn không được thấp hơn khả năng chịu lực ban đầu. Khi sử dụng nền móng độc lập của kết cấu khung thép, cần sử dụng vật liệu mạ kẽm hoặc thép không gỉ, bề mặt tiếp xúc phải phẳng và nhẵn.
F. Khi lắp đặt thiết bị sản xuất trong phòng sạch (khu vực) cần phải khoan lỗ trên tấm ốp tường, trần treo và sàn nâng, thao tác khoan không được làm rách hoặc làm bẩn bề mặt tấm ốp tường và trần treo cần được giữ lại. Sau khi khoan sàn nâng, nếu không thể lắp đặt móng kịp thời, cần lắp đặt lan can an toàn và biển báo nguy hiểm; sau khi lắp đặt thiết bị sản xuất, cần bịt kín khe hở xung quanh lỗ khoan, đồng thời thiết bị và bộ phận bịt kín phải tiếp xúc linh hoạt, và kết nối giữa bộ phận bịt kín và tấm ốp tường phải chặt chẽ và chắc chắn; bề mặt bịt kín ở một bên phòng làm việc phải phẳng và nhẵn.
Thời gian đăng: 16-01-2024