Việc lắp đặt thiết bị xử lý trong phòng sạch phải dựa trên thiết kế và chức năng của phòng sạch. Các chi tiết sau đây sẽ được giới thiệu.
1. Phương pháp lắp đặt thiết bị: Phương pháp lý tưởng là đóng phòng sạch trong thời gian lắp đặt thiết bị và có cửa đáp ứng góc nhìn của thiết bị hoặc dành một lối đi để thiết bị mới đi qua và vào phòng sạch theo thứ tự Để phòng sạch gần thời gian lắp đặt không bị nhiễm bẩn, cần thực hiện các biện pháp bảo vệ để đảm bảo phòng sạch vẫn đáp ứng yêu cầu về độ sạch sẽ và các công việc cần thực hiện tiếp theo.
2. Nếu không thể dừng công việc trong phòng sạch trong mỗi giai đoạn lắp đặt hoặc nếu có công trình cần tháo dỡ, phòng sạch đang chạy phải được cách ly hiệu quả với khu vực làm việc: có thể sử dụng tường hoặc vách ngăn cách ly tạm thời. Để không cản trở công việc lắp đặt, xung quanh thiết bị phải có đủ không gian. Nếu điều kiện cho phép, việc tiếp cận khu vực cách ly có thể thông qua các kênh dịch vụ hoặc các khu vực không quan trọng khác: nếu không thể thực hiện được thì cần thực hiện các biện pháp để giảm thiểu tác động ô nhiễm do công việc lắp đặt gây ra. Khu vực cách ly phải duy trì áp suất bằng nhau hoặc áp suất âm. Nên cắt nguồn cung cấp không khí sạch ở khu vực cao tầng để tránh áp lực dương lên phòng sạch xung quanh. Nếu việc vào khu vực cách ly chỉ thông qua phòng sạch liền kề thì nên dùng miếng dính để loại bỏ bụi bẩn bám trên giày.
3. Sau khi vào khu vực có độ cao lớn, có thể sử dụng ủng hoặc bao ngoài dùng một lần và quần áo bảo hộ lao động liền mảnh để tránh làm ô nhiễm phòng sạch. Những vật dụng dùng một lần này phải được loại bỏ trước khi rời khỏi khu vực cách ly. Cần xây dựng các phương pháp giám sát khu vực xung quanh khu vực cách ly trong quá trình lắp đặt thiết bị và phải xác định tần suất giám sát để đảm bảo rằng mọi chất ô nhiễm có thể rò rỉ vào phòng sạch liền kề đều được phát hiện. Sau khi các biện pháp cách ly được thiết lập, có thể thiết lập các cơ sở dịch vụ công cộng cần thiết khác nhau như đường ống điện, nước, khí đốt, chân không, khí nén và nước thải, cần chú ý kiểm soát và cách ly khói và mảnh vụn do hoạt động tạo ra như càng nhiều càng tốt để tránh vô tình lây lan sang phòng sạch xung quanh. Nó cũng sẽ tạo điều kiện thuận lợi cho việc làm sạch hiệu quả trước khi dỡ bỏ rào cản cách ly. Sau khi các cơ sở dịch vụ công đáp ứng yêu cầu sử dụng, toàn bộ khu cách ly phải được vệ sinh, khử nhiễm theo quy trình vệ sinh quy định. Tất cả các bề mặt, bao gồm tất cả các bức tường, thiết bị (cố định và di động) và sàn nhà, phải được làm sạch bằng chân không, lau và lau chùi, đặc biệt chú ý đến việc làm sạch các khu vực phía sau tấm bảo vệ thiết bị và bên dưới thiết bị.
4. Có thể tiến hành thử nghiệm sơ bộ về hiệu suất của thiết bị dựa trên điều kiện thực tế của phòng sạch và thiết bị được lắp đặt, nhưng thử nghiệm nghiệm thu tiếp theo phải được tiến hành khi đáp ứng đầy đủ các điều kiện môi trường sạch. Tùy thuộc vào điều kiện tại nơi lắp đặt, bạn có thể bắt đầu tháo dỡ tường cách ly một cách cẩn thận; nếu nguồn cung cấp không khí sạch đã bị tắt, hãy khởi động lại nó; thời gian cho giai đoạn làm việc này phải được lựa chọn cẩn thận để giảm thiểu ảnh hưởng đến công việc bình thường của phòng sạch. Tại thời điểm này, có thể cần phải đo xem nồng độ các hạt trong không khí có đáp ứng các yêu cầu quy định hay không.
5. Việc vệ sinh và chuẩn bị bên trong thiết bị và buồng xử lý chính phải được thực hiện trong điều kiện phòng sạch thông thường. Tất cả các khoang bên trong và tất cả các bề mặt tiếp xúc với sản phẩm hoặc liên quan đến việc vận chuyển sản phẩm phải được lau sạch ở mức độ sạch cần thiết. Trình tự làm sạch thiết bị phải từ trên xuống dưới. Nếu các hạt bị lan rộng, các hạt lớn hơn sẽ rơi xuống đáy thiết bị hoặc mặt đất do trọng lực. Làm sạch bề mặt bên ngoài của thiết bị từ trên xuống dưới. Khi cần thiết, việc phát hiện hạt trên bề mặt phải được thực hiện ở những khu vực có yêu cầu quan trọng về sản phẩm hoặc quy trình sản xuất.
6. Xét đặc điểm của phòng sạch, đặc biệt là diện tích lớn, đầu tư cao, sản lượng cao và yêu cầu về độ sạch rất khắt khe của phòng sạch công nghệ cao thì việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong loại phòng sạch này cũng giống như vậy của phòng sạch thông thường. Không có yêu cầu cụ thể. Vì mục đích này, tiêu chuẩn quốc gia "Quy tắc chấp nhận chất lượng và xây dựng phòng sạch" được ban hành đã đưa ra một số quy định về việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch, chủ yếu bao gồm những điều sau.
A. Để ngăn ngừa ô nhiễm hoặc thậm chí làm hỏng phòng sạch (khu vực) đã được nghiệm thu "trống" trong quá trình lắp đặt thiết bị của quá trình sản xuất, quá trình lắp đặt thiết bị không được rung hoặc nghiêng quá mức và không được bề mặt thiết bị bị chia cắt và làm ô nhiễm.
B. Để thực hiện việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong (khu vực) phòng sạch có trật tự, không có hoặc ít chỗ ngồi và tuân theo hệ thống quản lý sản xuất sạch trong phòng sạch, hãy đảm bảo rằng quy trình lắp đặt thiết bị sản xuất được bảo vệ theo đối với các "thành phẩm" và "bán thành phẩm" khác nhau được chấp nhận ở "trạng thái trống", vật liệu, máy móc, v.v. phải được sử dụng trong quá trình lắp đặt không được phát ra hoặc có thể tạo ra (kể cả trong hoạt động bình thường của máy sạch phòng trong thời gian dài) các chất ô nhiễm có hại cho sản phẩm được sản xuất. Nên sử dụng những vật liệu phòng sạch không bụi, không rỉ sét, không dầu mỡ và không tạo ra bụi trong quá trình sử dụng.
C. Bề mặt trang trí tòa nhà của (khu vực) phòng sạch phải được bảo vệ bằng các tấm, màng và vật liệu khác của phòng sạch; tấm đỡ thiết bị phải được chế tạo theo yêu cầu của thiết kế hoặc tài liệu kỹ thuật của thiết bị. Nếu không có yêu cầu thì nên sử dụng tấm inox hoặc tấm nhựa. Cấu hình thép carbon được sử dụng cho nền móng độc lập và cốt thép sàn phải được xử lý chống ăn mòn và bề mặt phải phẳng và mịn; vật liệu bịt kín đàn hồi nên được sử dụng để hàn.
D. Vật liệu phải được ghi rõ thành phần, chủng loại, ngày sản xuất, thời hạn bảo quản, hướng dẫn phương pháp thi công và giấy chứng nhận sản phẩm. Máy móc, dụng cụ sử dụng trong (khu vực) phòng sạch không được phép di chuyển sang (khu vực) phòng không sạch để sử dụng. Không được phép di chuyển máy móc, dụng cụ vào phòng (khu vực) sạch để sử dụng. Máy, dụng cụ sử dụng trong khu vực sạch phải đảm bảo các bộ phận hở của máy không phát sinh bụi hoặc có biện pháp ngăn chặn bụi gây ô nhiễm môi trường. Các máy móc, dụng cụ thông dụng phải được làm sạch trong airlock trước khi chuyển đến khu vực sạch sẽ và phải đáp ứng các yêu cầu không dầu, không bụi bẩn, không bụi, không rỉ sét và phải được di chuyển sau khi đã kiểm tra và dán chặt. biển báo "Sạch" hoặc "Chỉ khu vực sạch".
E. Thiết bị của quy trình sản xuất trong phòng (khu vực) sạch cần được lắp đặt trên các "tầng cụ thể" như sàn nâng. Nền thiết bị nói chung phải được đặt ở tầng lửng kỹ thuật phía dưới hoặc trên tấm xốp xi măng; các công việc cần tháo dỡ để lắp đặt phần móng. Kết cấu của sàn sau khi cắt bằng máy cưa điện cầm tay cần được gia cố, khả năng chịu tải của sàn không được thấp hơn khả năng chịu tải ban đầu. Khi sử dụng nền móng độc lập của kết cấu khung thép, nó phải được làm bằng vật liệu mạ kẽm hoặc thép không gỉ, bề mặt lộ ra ngoài phải phẳng và nhẵn.
F. Khi quá trình lắp đặt thiết bị của quá trình sản xuất trong phòng (khu vực) sạch đòi hỏi phải đục lỗ trên tấm tường, trần treo và sàn nâng thì các thao tác khoan không được chia cắt hoặc làm nhiễm bẩn các bề mặt của tấm tường, tấm trần treo cần được thực hiện. được giữ lại. Sau khi mở sàn nâng, không thể lắp đặt móng kịp thời, phải lắp đặt lan can an toàn và biển báo nguy hiểm; sau khi lắp đặt thiết bị sản xuất, khoảng trống xung quanh lỗ phải được bịt kín, thiết bị và các bộ phận bịt kín phải tiếp xúc linh hoạt, đồng thời kết nối giữa bộ phận bịt kín và tấm tường phải chặt chẽ và chắc chắn; bề mặt niêm phong ở một bên của phòng làm việc phải phẳng và mịn.
Thời gian đăng: Jan-16-2024