Tiêu chuẩn ISO 14644-5 yêu cầu việc lắp đặt thiết bị cố định trong phòng sạch phải dựa trên thiết kế và chức năng của phòng sạch. Các chi tiết sau đây sẽ được trình bày bên dưới.
1. Phương pháp lắp đặt thiết bị: Phương pháp lý tưởng là đóng kín phòng sạch trong suốt thời gian lắp đặt thiết bị, và bố trí cửa có góc nhìn phù hợp với thiết bị hoặc dành một rãnh trên vách ngăn để cho phép thiết bị mới đi qua và vào phòng sạch nhằm ngăn ngừa phòng sạch trong quá trình lắp đặt bị nhiễm bẩn. Cần thực hiện các biện pháp bảo vệ để đảm bảo phòng sạch vẫn đáp ứng các yêu cầu về độ sạch và các công việc cần thiết tiếp theo.
2. Nếu không thể tạm dừng công việc trong phòng sạch trong mỗi chu kỳ lắp đặt, hoặc nếu có các cấu trúc cần tháo dỡ, phòng sạch đang hoạt động phải được cách ly hiệu quả khỏi khu vực làm việc: có thể sử dụng các bức tường hoặc vách ngăn cách ly tạm thời. Để không cản trở công việc lắp đặt, cần có đủ không gian xung quanh thiết bị. Nếu điều kiện cho phép, có thể tiếp cận khu vực cách ly thông qua các kênh dịch vụ hoặc các khu vực không quan trọng khác: nếu không thể, cần có các biện pháp để giảm thiểu tác động ô nhiễm do công việc lắp đặt gây ra. Khu vực cách ly cần duy trì áp suất bằng hoặc áp suất âm. Cần ngắt nguồn cung cấp không khí sạch ở khu vực cao tầng để tránh áp suất dương lên các phòng sạch xung quanh. Nếu chỉ có thể tiếp cận khu vực cách ly thông qua phòng sạch liền kề, cần sử dụng miếng dán để loại bỏ bụi bẩn khỏi giày dép.
3. Sau khi vào khu vực vùng cao, có thể sử dụng ủng hoặc giày bảo hộ dùng một lần và quần áo bảo hộ liền thân để tránh làm ô nhiễm quần áo sạch. Các vật dụng dùng một lần này cần được cởi bỏ trước khi rời khỏi khu vực cách ly. Cần xây dựng phương pháp giám sát khu vực xung quanh khu vực cách ly trong quá trình lắp đặt thiết bị và xác định tần suất giám sát để đảm bảo phát hiện kịp thời mọi sự ô nhiễm có thể rò rỉ vào phòng sạch liền kề. Sau khi thiết lập các biện pháp cách ly, có thể lắp đặt các tiện ích công cộng cần thiết như điện, nước, khí đốt, chân không, khí nén và đường ống dẫn nước thải. Cần chú ý kiểm soát và cách ly khói và bụi bẩn sinh ra trong quá trình vận hành để tránh lây lan không mong muốn sang phòng sạch xung quanh. Cần tạo điều kiện thuận lợi cho việc vệ sinh hiệu quả trước khi dỡ bỏ rào chắn cách ly. Sau khi các tiện ích công cộng đáp ứng yêu cầu sử dụng, toàn bộ khu vực cách ly cần được làm sạch và khử trùng theo quy trình vệ sinh đã quy định. Tất cả các bề mặt, bao gồm tất cả các bức tường, thiết bị (cố định và di động) và sàn nhà, cần được hút bụi, lau chùi và quét sạch, đặc biệt chú ý đến việc làm sạch các khu vực phía sau tấm chắn bảo vệ thiết bị và bên dưới thiết bị.
4. Có thể tiến hành thử nghiệm sơ bộ hiệu suất thiết bị dựa trên điều kiện thực tế của phòng sạch và thiết bị đã lắp đặt, nhưng việc thử nghiệm nghiệm thu tiếp theo nên được tiến hành khi các điều kiện môi trường sạch được đáp ứng đầy đủ. Tùy thuộc vào điều kiện tại địa điểm lắp đặt, có thể bắt đầu tháo dỡ vách ngăn cách ly một cách cẩn thận; nếu nguồn cung cấp khí sạch đã bị tắt, hãy khởi động lại; thời điểm thực hiện giai đoạn này cần được lựa chọn cẩn thận để giảm thiểu sự gián đoạn đến hoạt động bình thường của phòng sạch. Lúc này, có thể cần phải đo xem nồng độ các hạt trong không khí có đáp ứng các yêu cầu quy định hay không.
5. Việc làm sạch và chuẩn bị bên trong thiết bị và các buồng xử lý chính phải được thực hiện trong điều kiện phòng sạch thông thường. Tất cả các buồng bên trong và tất cả các bề mặt tiếp xúc với sản phẩm hoặc liên quan đến vận chuyển sản phẩm phải được lau sạch đến mức độ sạch cần thiết. Trình tự làm sạch thiết bị nên được thực hiện từ trên xuống dưới. Nếu các hạt bụi bị phân tán, các hạt lớn hơn sẽ rơi xuống đáy thiết bị hoặc xuống đất do trọng lực. Làm sạch bề mặt bên ngoài của thiết bị từ trên xuống dưới. Khi cần thiết, cần tiến hành kiểm tra hạt bụi trên bề mặt ở những khu vực mà yêu cầu về sản phẩm hoặc quy trình sản xuất là rất quan trọng.
6. Xét đến đặc điểm của phòng sạch, đặc biệt là diện tích lớn, vốn đầu tư cao, sản lượng cao và yêu cầu vệ sinh rất nghiêm ngặt của phòng sạch công nghệ cao, việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong loại nhà máy sạch này tương tự như trong các phòng sạch thông thường. Vì vậy, tiêu chuẩn quốc gia "Quy chuẩn xây dựng và nghiệm thu nhà máy sạch" ban hành năm 2015 đã đưa ra một số quy định về việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong nhà máy sạch, chủ yếu bao gồm các nội dung sau.
①. Để tránh ô nhiễm hoặc thậm chí hư hỏng phòng sạch đã được nghiệm thu "trống" trong quá trình lắp đặt thiết bị sản xuất, quá trình lắp đặt thiết bị không được có rung động hoặc nghiêng quá mức, và không được chia cắt và làm ô nhiễm bề mặt thiết bị.
②. Để việc lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch được ngăn nắp, hạn chế tối đa việc ngồi chờ và tuân thủ hệ thống quản lý sản xuất sạch trong xưởng sạch, cần đảm bảo quá trình lắp đặt thiết bị sản xuất được bảo vệ theo quy định đối với các loại "thành phẩm" và "bán thành phẩm" được tiếp nhận ở "trạng thái trống", các vật liệu, máy móc, v.v. phải được sử dụng trong quá trình lắp đặt không được phát thải hoặc có thể tạo ra (kể cả trong quá trình vận hành bình thường trong phòng sạch trong thời gian dài) các chất gây ô nhiễm có hại cho sản phẩm. Cần sử dụng các vật liệu sạch, không bụi, không gỉ sét, không dầu mỡ và không tạo ra bụi trong quá trình sử dụng.
③. Bề mặt trang trí của phòng sạch cần được bảo vệ bằng các tấm, màng và vật liệu khác sạch sẽ, không bám bụi; tấm đỡ thiết bị phải được làm theo yêu cầu của thiết kế hoặc tài liệu kỹ thuật thiết bị. Nếu không có yêu cầu, nên sử dụng tấm thép không gỉ hoặc tấm nhựa. Các thanh thép carbon dùng cho móng độc lập và cốt thép sàn cần được xử lý chống ăn mòn, bề mặt phải phẳng và nhẵn; sử dụng vật liệu bịt kín đàn hồi để trám khe.
④. Vật liệu phải được ghi rõ thành phần, chủng loại, ngày sản xuất, thời hạn sử dụng, hướng dẫn phương pháp thi công và chứng nhận chất lượng sản phẩm. Máy móc và dụng cụ sử dụng trong phòng sạch không được di chuyển đến phòng không sạch để sử dụng. Máy móc và dụng cụ không được di chuyển vào phòng sạch để sử dụng. Máy móc và dụng cụ sử dụng trong khu vực sạch phải đảm bảo các bộ phận tiếp xúc của máy không tạo ra bụi hoặc phải có biện pháp ngăn ngừa bụi gây ô nhiễm môi trường. Máy móc và dụng cụ thường dùng phải được làm sạch trong buồng khóa khí trước khi di chuyển đến khu vực sạch, phải đáp ứng các yêu cầu không dính dầu, không bẩn, không bụi và không gỉ sét, và phải được di chuyển sau khi đã qua kiểm tra và dán biển báo "Sạch" hoặc "Chỉ khu vực sạch".
⑤. Thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch cần được lắp đặt trên "các loại sàn chuyên dụng" như sàn nâng. Móng thiết bị thường nên được đặt trên sàn lửng kỹ thuật phía dưới hoặc trên tấm xi măng xốp; các hoạt động cần tháo dỡ để lắp đặt móng. Kết cấu sàn sau khi cắt bằng cưa điện cầm tay cần được gia cố, và khả năng chịu tải của nó không được thấp hơn khả năng chịu tải ban đầu. Khi sử dụng móng độc lập của kết cấu khung thép, nó nên được làm bằng vật liệu mạ kẽm hoặc thép không gỉ, và bề mặt tiếp xúc phải phẳng và nhẵn.
⑥. Khi quá trình lắp đặt thiết bị sản xuất trong phòng sạch yêu cầu khoan lỗ trên các tấm tường, trần treo và sàn nâng, thao tác khoan không được làm rách hoặc làm ô nhiễm bề mặt của các tấm tường và tấm trần treo cần được giữ nguyên. Sau khi khoan sàn nâng, nếu không thể lắp đặt móng kịp thời, cần lắp đặt lan can bảo vệ và biển báo nguy hiểm; sau khi lắp đặt thiết bị sản xuất, khe hở xung quanh lỗ phải được bịt kín, thiết bị và các bộ phận bịt kín phải tiếp xúc linh hoạt, và mối nối giữa bộ phận bịt kín và tấm tường phải chắc chắn; bề mặt bịt kín ở một bên của phòng làm việc phải phẳng và nhẵn.
Thời gian đăng bài: 06/09/2023