IS0 14644-5 yêu cầu lắp đặt thiết bị cố định trong phòng sạch nên dựa trên thiết kế và chức năng của phòng sạch. Các chi tiết sau đây sẽ được giới thiệu dưới đây.
1. Phương pháp lắp đặt thiết bị: Phương pháp lý tưởng là đóng phòng sạch trong thời gian lắp đặt thiết bị và có một cánh cửa có thể đáp ứng góc nhìn của thiết bị hoặc đặt một kênh trên bảng để cho phép thiết bị mới đi qua và nhập sạch Phòng để ngăn chặn phòng sạch gần thời gian lắp đặt bị ô nhiễm, nên thực hiện các biện pháp bảo vệ để đảm bảo rằng phòng sạch vẫn đáp ứng các yêu cầu sạch sẽ của nó và công việc tiếp theo cần thiết.
2. Nếu không thể dừng công việc trong phòng sạch trong mỗi giai đoạn lắp đặt hoặc nếu có các cấu trúc cần được tháo dỡ, phòng sạch đang chạy phải được cách ly hiệu quả với khu vực làm việc: có thể sử dụng các bức tường hoặc phân vùng cách ly tạm thời. Để không cản trở công việc cài đặt, nên có đủ không gian xung quanh thiết bị. Nếu các điều kiện cho phép, quyền truy cập vào khu vực cách ly có thể thông qua các kênh dịch vụ hoặc các khu vực không quan trọng khác: Nếu điều này là không thể, các biện pháp nên được thực hiện để giảm thiểu tác động ô nhiễm do công việc cài đặt. Khu vực cách ly nên duy trì áp suất bằng nhau hoặc áp suất âm. Nguồn cung cấp không khí sạch nên được cắt ở khu vực cao tầng để tránh áp lực tích cực đối với các phòng sạch sẽ xung quanh. Nếu truy cập vào khu vực cách ly chỉ thông qua một phòng sạch liền kề, nên sử dụng miếng đệm dính để loại bỏ bụi bẩn khỏi giày.
3. Sau khi vào khu vực độ cao, đôi bốt dùng một lần hoặc quá mức và quần áo làm việc một mảnh có thể được sử dụng để tránh làm ô nhiễm quần áo sạch. Các mặt hàng dùng một lần này nên được loại bỏ trước khi rời khỏi khu vực kiểm dịch. Các phương pháp giám sát khu vực xung quanh khu vực cách ly trong quá trình lắp đặt thiết bị nên được phát triển và tần suất giám sát nên được xác định để đảm bảo rằng bất kỳ ô nhiễm nào có thể bị rò rỉ vào phòng sạch liền kề. Sau khi các biện pháp cách ly được thiết lập, các cơ sở dịch vụ công cộng cần thiết khác nhau, như điện, nước, khí đốt, chân không, đường ống nước thải và nước thải nén, có thể được thiết lập. Cần chú ý đến việc kiểm soát và cách ly khói và mảnh vụn được tạo ra bởi hoạt động càng nhiều càng tốt để tránh vô tình lan sang phòng sạch sẽ xung quanh. Nó cũng nên tạo điều kiện cho việc làm sạch hiệu quả trước khi loại bỏ hàng rào cách ly. Sau khi các cơ sở dịch vụ công cộng đáp ứng các yêu cầu sử dụng, toàn bộ khu vực cách ly nên được làm sạch và khử nhiễm theo các quy trình làm sạch theo quy định. Tất cả các bề mặt, bao gồm tất cả các bức tường, thiết bị (cố định và di chuyển) và sàn, nên được làm sạch chân không, lau và lau, với sự chú ý đặc biệt được trả cho các khu vực làm sạch phía sau bộ phận bảo vệ thiết bị và dưới thiết bị.
4. Một thử nghiệm sơ bộ về hiệu suất thiết bị có thể được thực hiện dựa trên các điều kiện thực tế của phòng sạch và thiết bị được lắp đặt, nhưng nên tiến hành thử nghiệm chấp nhận sau đó khi các điều kiện môi trường sạch được đáp ứng đầy đủ. Tùy thuộc vào các điều kiện tại vị trí cài đặt, bạn có thể bắt đầu tháo gỡ cẩn thận bức tường cách ly; Nếu nguồn cung cấp không khí sạch đã bị tắt, hãy khởi động lại nó; Thời gian cho giai đoạn công việc này nên được lựa chọn cẩn thận để giảm thiểu can thiệp vào công việc bình thường của phòng sạch. Tại thời điểm này, có thể cần phải đo lường liệu nồng độ của các hạt trong không khí có đáp ứng các yêu cầu được chỉ định hay không.
5. Làm sạch và chuẩn bị nội thất của thiết bị và buồng quy trình chính nên được thực hiện trong điều kiện phòng sạch bình thường. Tất cả các buồng bên trong và tất cả các bề mặt tiếp xúc với sản phẩm hoặc có liên quan đến vận chuyển sản phẩm phải được xóa sạch đến mức cần thiết của sự sạch sẽ. Trình tự làm sạch của thiết bị phải từ trên xuống dưới. Nếu các hạt được lan truyền, các hạt lớn hơn sẽ rơi xuống đáy thiết bị hoặc mặt đất do trọng lực. Làm sạch bề mặt bên ngoài của thiết bị từ trên xuống dưới. Khi cần thiết, phát hiện hạt bề mặt nên được thực hiện ở những khu vực mà các yêu cầu sản xuất hoặc quy trình sản xuất là rất quan trọng.
6. Theo quan điểm của các đặc điểm của các phòng sạch, đặc biệt là diện tích lớn, đầu tư cao, sản lượng cao và yêu cầu độ sạch rất nghiêm ngặt của các phòng sạch công nghệ cao, việc lắp đặt các thiết bị quy trình sản xuất trong loại nhà máy sạch này tương tự như phòng sạch bình thường. Để kết thúc này, Tiêu chuẩn quốc gia "Bộ luật Xây dựng Nhà máy Sạch và Chất lượng Chất lượng" được phát hành vào năm 2015 đã thực hiện một số điều khoản để lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong các nhà máy sạch, chủ yếu bao gồm cả những điều sau đây.
. Để ngăn ngừa ô nhiễm hoặc thậm chí làm hỏng phòng sạch đã trải qua sự chấp nhận "trống" trong quá trình lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất, quá trình lắp đặt thiết bị không được có độ rung hoặc nghiêng quá mức và không được chia và làm ô nhiễm thiết bị bề mặt.
. Để thực hiện việc lắp đặt các thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch có trật tự và không có hoặc ít ngồi hơn, và theo hệ thống quản lý sản xuất sạch trong hội thảo sạch, hãy đảm bảo rằng quá trình lắp đặt của thiết bị sản xuất được bảo vệ theo các loại khác nhau " các sản phẩm hoàn chỉnh "và" sản phẩm bán hoàn thành "được chấp nhận ở" trạng thái trống ", vật liệu, máy móc, v.v. phải được sử dụng trong quá trình cài đặt không được phát ra hoặc có thể sản xuất (bao gồm cả trong hoạt động bình thường của phòng sạch thời gian) các chất ô nhiễm mà có hại cho các sản phẩm được sản xuất. Các vật liệu sạch không có bụi, không rỉ sét, không có dầu mỡ và không tạo ra bụi trong khi sử dụng nên được sử dụng.
. Bề mặt trang trí tòa nhà của phòng sạch nên được bảo vệ bằng các tấm sạch, không có bụi, phim và các vật liệu khác; Tấm hỗ trợ thiết bị nên được thực hiện theo các yêu cầu tài liệu kỹ thuật thiết kế hoặc thiết bị. Nếu không có yêu cầu, các tấm bằng thép không gỉ hoặc tấm nhựa nên được sử dụng. Các cấu hình bằng thép carbon được sử dụng cho các nền tảng độc lập và quân tiếp viện sàn nên được xử lý bằng chống ăn mòn, và bề mặt phải bằng phẳng và mịn màng; Vật liệu niêm phong đàn hồi được sử dụng cho caulking.
. Vật liệu nên được đánh dấu bằng các thành phần, giống, ngày sản xuất, thời gian có hiệu lực lưu trữ, hướng dẫn phương pháp xây dựng và chứng chỉ trình độ sản phẩm. Máy móc và dụng cụ được sử dụng trong phòng sạch sẽ không được chuyển đến các phòng không có chất làm sạch để sử dụng. Máy móc và công cụ không được chuyển đến phòng sạch để sử dụng. Máy móc và công cụ được sử dụng trong khu vực sạch sẽ đảm bảo rằng các bộ phận tiếp xúc của máy không tạo ra bụi hoặc thực hiện các biện pháp để ngăn bụi làm ô nhiễm môi trường. Các máy và dụng cụ thường được sử dụng nên được làm sạch trong hãng hàng không trước khi được chuyển đến khu vực sạch. , nên đáp ứng các yêu cầu của việc không có dầu, không có bụi bẩn, không có bụi và không rỉ sét, và nên được di chuyển sau khi vượt qua kiểm tra và gắn dấu hiệu "sạch" hoặc "chỉ là khu vực sạch".
. Các thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch cần phải được lắp đặt trên "sàn cụ thể" như sàn nâng lên. Nền tảng thiết bị thường được đặt trên sàn lửng kỹ thuật thấp hơn hoặc trên tấm xốp xi măng; Các hoạt động cần được tháo dỡ để cài đặt nền tảng cấu trúc của sàn sau khi được cắt bằng cưa điện cầm tay nên được gia cố, và khả năng chịu tải của nó không nên thấp hơn khả năng chịu tải ban đầu. Khi một nền tảng độc lập của cấu trúc khung thép được sử dụng, nó nên được làm bằng vật liệu mạ kẽm hoặc thép không gỉ, và bề mặt tiếp xúc phải phẳng và mịn.
. Khi quá trình lắp đặt thiết bị quy trình sản xuất trong phòng sạch cần mở các lỗ trong các tấm tường, trần treo và sàn được nâng lên, các hoạt động khoan không được chia hoặc làm ô nhiễm các bề mặt của các tấm tường và các tấm trần treo cần phải được giữ lại. Sau khi mở sàn nâng khi nền tảng không thể được lắp đặt kịp thời, các bảo vệ an toàn và các dấu hiệu nguy hiểm nên được cài đặt; Sau khi thiết bị sản xuất được lắp đặt, khoảng cách xung quanh lỗ phải được niêm phong, và các thiết bị và các thành phần niêm phong nên được tiếp xúc linh hoạt, và kết nối giữa thành phần niêm phong và tấm tường phải chặt chẽ và chắc chắn; Bề mặt niêm phong ở một bên của phòng làm việc phải bằng phẳng và mịn màng.
Thời gian đăng: Tháng 9-06-2023